Gebraucht UNAXIS / NEXTRAL 100 #9258327 zu verkaufen

ID: 9258327
Weinlese: 1999
System TC120 DE60 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 2033 C2 Motor With FOMBLIN 113 Fluid Power supply: 3 Phase, 400 VAC 1999 vintage.
UNAXIS/NEXTRAL 100 ist ein vielseitiger Vakuumätzer/Ascher, ideal für eine Vielzahl von Anwendungen. Es eignet sich gut für die Erstellung von hochauflösenden Mikrostrukturen, sowie Dünnschicht-Photoresists. Der Ätzer/Ascher ist einfach zu bedienen und kann auch bei rauen Betriebsbedingungen zuverlässig sein. Es ist außerdem energieeffizient und MSL-konform und eignet sich daher gut für verschiedene Prozesse und industrielle Umgebungen. Das Gerät verfügt über ein berührungsloses elektrostatisches Spannfutter, das zur Verbesserung der Ätzausbeute beiträgt. Auch dieses Spannfutter verhindert ein Verkleben von Zielmaterial an der Arbeitsfläche und sorgt für eine gleichmäßigere Ätzfläche. Das Spannfutter verhindert auch die Bildung von Oberflächenwellen und Partikeln, was zu mikrostruktureller Instabilität oder schlechter Kantenauflösung führen kann. UNAXIS 100 ist auch mit einer Backside Ion Source (BSI) ausgestattet, die bis zu vier unabhängige Emitter enthält, um Multi-Implantationsprozesse zu erleichtern. BSI-optimierte Substrate können in Ein- oder Mehrkammer-Konfigurationen platziert werden, um das Ätzen und Aschen komplexer Mikrostrukturen zu erleichtern. Die BSI-Funktion hilft auch, einheitliche und wiederholbare Prozesse zu gewährleisten. Das Gerät ist auch für schnelle Prozessdurchlaufzeiten optimiert. Dies wird durch die schnelle Ansprechzeit des BSI sowie die Gleichmäßigkeit des Plasmaätzens erleichtert. Darüber hinaus ist der Ätzer/Ascher mit einem bordseitig konfigurierbaren Massenstromregler für präzise und optimierte Prozessparameter ausgestattet. So können Anwender die Einstellungen für verschiedene Materialien wie Polymere, Silizium, Glas und andere Arten von Substraten optimieren. Schließlich ist NEXTRAL 100 auch mit einem umfassenden Touchscreen-Display und einem mehrsprachigen Menü für eine komfortable Datenmanipulation und -steuerung ausgestattet. Dies ermöglicht ein einfaches Ablesen von Prozessergebnissen in Echtzeit sowie Prozessanpassungen im Handumdrehen. Abschließend ist 100 Ätzer/Ascher ein effektives und zuverlässiges Gerät, das sich für eine Reihe von Ätzanwendungen eignet. Mit seiner Energieeffizienz und programmierbaren Eigenschaften ist es ideal für Industrie- oder Laboreinstellungen.
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