Gebraucht UVOCS T10X101/0ESIE #293593213 zu verkaufen

UVOCS T10X101/0ESIE ist ein leistungsstarker Ätzer und Ascher für eine Vielzahl von Anwendungen. Es ist eine Chargenausrüstung mit einem fortschrittlichen Nadelbalkenkammerdesign, die bis zu 10 200 mm Probenscheiben zum Ätzen und bis zu 300 mm Probenscheiben zum Aschen aufnehmen kann. Das T10X101/0ESIE Modell verfügt auch über eine LPCVD-Kammer, die zum Abscheiden von Folien verwendet werden kann. Die Kammer des T10X101/0ESIE Modells soll einen optimalen Gasfluss entlang der Achse und auf die Probe gewährleisten. Es verfügt über ein 7-Zonen-Wärmeleitungs-Heizsystem mit vollständig geschlossener Schleife und Regelung, Infrarotheizungen zur Substratheizung, zwei Sekundärkammern zur Prozessparameterstabilisierung und Helios-Planar-Bolometer zur Echtzeit-Ätzendpunktbestimmung. Darüber hinaus ist das Gerät mit einer fortschrittlichen Wärmesteuerungsmaschine ausgestattet, die einheitliche Verarbeitungsbedingungen entlang des vollen Waferdurchmessers bietet. Der T10X101/0ESIE Ätzer und Asher nutzt ein integriertes Prozesskontrollwerkzeug (IPCS) mit fortschrittlichen intuitiven Touchscreen-Benutzeroberflächen. Auf diese Weise können Benutzer die für das Ätzen und Auswerten erforderlichen Asset-Parameter einfach konfigurieren. Darüber hinaus verfügt es über ein Auto-Etch-Programm, das eine automatische Ätzrezeptoptimierung sowie bis zu 10 Dezimalstellen für die Ätzratengenauigkeit ermöglicht. Das Modell ermöglicht auch variable Rezepturparameter abhängig vom zu ätzenden oder zu aschenden Material. Außerdem ist die T10X101/0ESIE Ausrüstung mit Prozessgaseinlass und vollständiger Abgassteuerung, Laserbeleuchtung und einfachem Platzierungssystem für Benutzerfreundlichkeit und Sicherheit ausgestattet. Das Modell ist in der Lage, hohe Ätz- und Ascheraten zu erreichen und gleichzeitig Oberflächenschäden und andere Prozessartefakte zu minimieren. Letztlich bietet UVOCS T10X101/0ESIE Ätzer und Ascher eine leistungsstarke und zuverlässige Lösung für eine Reihe von Ätz- und Ascheprozessen. Die Präzisionssteuerung, das fortschrittliche Kammerdesign und die intuitive Benutzeroberfläche machen es zu einer attraktiven Option für Forschungs- und Entwicklungslabore sowie industrielle Anwendungen.