Gebraucht VEECO / MICROETCH 1201 #293628796 zu verkaufen

VEECO/MICROETCH 1201 ist ein tiefer Plasmaätzer und Ascher für fortgeschrittene Anwendungen des Plasmaätzens, Aschens und tiefen reaktiven Ionenätzens (DRIE). Die Ausrüstung ist für den Einsatz in einer Vielzahl von Branchen wie Forschung, Entwicklung und industrielle Produktion konzipiert. VEECO 1201 verfügt über ein robustes und zuverlässiges Design, MICROETCH 1201 hat einen kleinen Platzbedarf und passt in fast jede Laborumgebung, wodurch das Beschichten und Ätzen kleiner Komponenten einfach ist. Das System führt eine Reihe von Ätzprozessen für komplexe Lithographie durch, einschließlich Tiefätzen/Ionenfräsen, IC/MEMS-Ätzen, Halbleiterätzen, Laserablation und Mikroherstellungsverfahren. 1201 bietet eine präzise Steuerung des Ätzprozesses durch seine fortschrittliche integrierte künstliche Intelligenz (KI) und Mikroprozessoren. Die KI-Einheit optimiert automatisch Ätzparameter und steuert den Durchsatz des Prozesses präzise. Die Maschine ist in der Lage, mit einer breiten Palette von Gasen zu ätzen, einschließlich Fluorkohlenwasserstoffe, Methan, Stickstoff und Sauerstoff. VEECO/MICROETCH 1201 verfügt auch über zwei unabhängige Netzteile, um mehrere Ätzaufgaben gleichzeitig zu erledigen. Das Werkzeug arbeitet mit einer Niederdruckkammer und einer direkt angetriebenen Substratplattform, die Verschmutzungen und Oberflächenschäden minimieren. VEECO 1201 ist mit einer inneren Kammer gebaut, die für thermische Stabilität, Isolation von äußerem Druck und eine sichere Atmosphäre Umgebung ausgelegt ist. MICROETCH 1201 hilft auch, Ausfallzeiten zu reduzieren, indem es schnell überschreibbare Gaskontrollen verwendet und einen schnellen und zuverlässigen Durchsatz des Ätzprozesses gewährleistet. Mit 1201 haben Anwender Zugriff auf eine breite Palette von Tools zur Prozessüberwachung und Datenerfassung, wie Echtzeit-Spektroskopie des Ätzmittels, Flugzeit-Massenspektroskopie und grundlegende und fortschrittliche Prozesskontrolle, damit Benutzer den Prozess feinabstimmen können. Für fortgeschrittene Forschungsanwendungen bietet VEECO/MICROETCH 1201 eine integrierte Spektroskopie-Plattform zur Messung des Massenflusses, der Substrattemperatur und der Lebensdauer des Plasmas. Zusätzlich ist die Anlage mit einem Multiview-Glasfasermikroskop ausgestattet, um die Ätzergebnisse zu überwachen. Abschließend ist VEECO 1201 ein zuverlässiges und intuitives Ätzmodell, das eine Vielzahl von Ätzprozessen aufnehmen kann. Es verfügt über eine benutzerfreundliche Oberfläche und ist mit zuverlässigen Komponenten und Funktionen gebaut, um jedes Mal eine konsistente und präzise Ätzung zu gewährleisten. MICROETCH 1201-Geräte bieten Benutzern Zugriff auf eine Vielzahl von Überwachungs- und erweiterten Prozesssteuerungswerkzeugen, um den Plasmaätzprozess feinabzustimmen und eine höhere Kontrolle über ihre Ätzaufgaben zu erlangen.