Gebraucht VEECO / MICROETCH 1201 #9354607 zu verkaufen

VEECO/MICROETCH 1201 ist eine hochmoderne Ätz- und Aschermaschine für eine Vielzahl fortschrittlicher Materialprozesse. Es bietet durch seine einzigartige modulare Bauweise Flexibilität und Anpassungsfähigkeit, wodurch ein breites Anwendungsspektrum realisiert werden kann. Dieser Ätzer verfügt über spannungsfreie, wiederholbare und äußerst zuverlässige Ergebnisse mit Präzision und Konsistenz über eine Vielzahl von Prozesstemperaturen und -zeiten. Das flexible Asher-Design ermöglicht eine Variation der Düsenposition und der Temperaturbereiche für optimales Ätzen. Darüber hinaus ermöglicht das erweiterte optische System von VEECO 1201 eine optisch verbesserte gleichmäßige Verarbeitung über den gesamten Wafer. MICROETCH 1201 bietet auch große Waferbearbeitungsmöglichkeiten mit einer 7 Zoll Drehstützvorrichtung für gleichmäßiges Ätzen und Aschen. Dieses Modell verfügt auch über eine erweiterte Plattform für dreidimensionale Elektrodensubstrate. Es beinhaltet eine Schneidenvakuumpumpe sowie die manuelle und maschinelle Übertragungsfähigkeit für das Wafer-Handling. In der Lage, sowohl chemische als auch physikalische Prozesse zu unterstützen, kann 1201 eine Vielzahl von Materialien wie Silizium, Quarz, Yesalin, Aluminium und Kupfer ätzen und aschen. Es ist ideal für ein- und mehrschichtige Prozesse sowie für Hochtemperatur- oder Tieftemperaturprozesse und andere fortschrittliche Anwendungen. Diese Ätz-/Ashed-Einheit verfügt über einen großen Unterdruck-Betriebsbereich für optimale Ergebnisse bei der Verarbeitung empfindlicher Substrate. Es enthält auch ein optisches Mikroskop zur Prozessüberwachung und Messung von Ätztiefe und Profil. VEECO/MICROETCH 1201 bietet eine wässrige und organische reaktive Gaszufuhr für Flexibilität beim Ätzen und Aschen einer Vielzahl von Substraten und Materialien. Es verfügt auch über eine sehr präzise Steuerung und Überwachung mit PC und RS422 Schnittstelle Steuerung. Darüber hinaus hat VEECO 1201 Sicherheitsfunktionen eingebaut, einschließlich mehrerer Überlaufkanäle und Schutzschaltungen, um mögliche Schäden durch gefährliche Materialverluste zu reduzieren. MICROETCH 1201 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der Leistung, Genauigkeit und Flexibilität bietet, um die anspruchsvollsten Anwendungen zu erfüllen. Mit wiederholbaren Ergebnissen, erweiterten Substratverarbeitungsfunktionen und entwickelten Sicherheitsmerkmalen ist diese Maschine ein ideales Werkzeug für ein- und mehrlagige Ätz- und Ascheprozesse.