Gebraucht VEECO Microetch LL250 #9100793 zu verkaufen

ID: 9100793
Wafergröße: 4"-6"
Ion beam etchers, 4"-6" Pumps included.
VEECO Microetch LL250 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für die Materialätzung und -veraschung in Halbleiter- und MEMS/NEMS-Anwendungen. Es verfügt über eine Open-Access-Konfiguration, die ein schnelleres Be- und Entladen von Substraten ermöglicht, sowie integrierte Controller, softwaregesteuerte Rezeptparameter und Touchscreen-Schnittstelle für intuitive Programmierung. Es bietet auch eine breite Palette von Prozessparametern und Fähigkeiten, um die Anforderungen verschiedener Anwendungen zu erfüllen. VEECO LL 250 beherbergt eine wärmegesteuerte Prozesskammer mit keramischer Isolierung, die eine gleichmäßige Heizung und Kühlung für konsistentere Ergebnisse gewährleistet. Es ist mit einem X-Y-Scanner ausgestattet, der eine genaue Substratpositionierung bietet, während die Präzisions-Mikroventildüse eine Hochgeschwindigkeitsproduktion und eine überlegene Selektivität und Gleichmäßigkeit bietet. Darüber hinaus verfügt das Gerät über ein In-situ-System, das eine Echtzeit-Überwachung und Kontrolle kritischer Prozessbedingungen ermöglicht. MICROETCH LL 250 wird von einem leistungsstarken Multiprozessorsteuerungssystem angetrieben, das eine präzise und wiederholbare Prozesssteuerung bietet. Es bietet fortschrittliches Stromversorgungsmanagement und Diagnosen, um konsistente und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten, zusammen mit einem automatischen Kalibrierungsmonitor, der Wartungszeiten verkürzt. Darüber hinaus enthält das Gerät eine Reihe von diagnostischen und präventiven Wartungsfunktionen, um die Leistung im Laufe der Zeit zu erhalten. Darüber hinaus verfügt VEECO MICROETCH LL 250 über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen. Dazu gehören Übertemperaturschutz, Reaktantenmanagement und eine automatische Gasabschaltung zur Vermeidung von Gasaustritt bei Prozessausfall. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine sichere physikalische Abschirmung sowie optische und Gassensoren zur Erkennung und zum Schutz vor brennbaren Gaskonzentrationen. LL 250 ist ideal für hochpräzise Ätz- und Ascheprozesse. Es bietet eine breite Palette von Prozessfähigkeiten, intuitive Steuerung und zuverlässige Leistung, so dass es eine ausgezeichnete Lösung für Ätz- und Ascheoperationen in Halbleiter- und MEMS/NEMS-Anwendungen.
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