Gebraucht YES / GLEN R1 #9135632 zu verkaufen

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Hersteller
YES / GLEN
Modell
R1
ID: 9135632
Plasma cleaner system With COMDEL / YES CLF-1000/50 Controller Operator / User manuals RF Input cable.
YES/GLEN R1 ist eine gepulste Plasma-Ascheausrüstung, die in einer Vielzahl fortschrittlicher Substratätzanwendungen verwendet wird. Es basiert auf dem Prinzip der selbstinduzierten Plasmaprozesse, die ein durch die Bewegung des elektrischen Stroms erzeugtes Plasmafeld nutzen, um eine Reaktion zwischen dem Material und den Gasmolekülen zu erzeugen. Das bedeutet, dass minimale chemische Reaktanten benötigt werden, eine sicherere und kostengünstigere Arbeitsstation geschaffen wird. Die YES R 1 besteht konstruktiv aus einer Edelstahl-Vakuumkammer, einem induktiv gekoppelten HF-Erzeugungssystem, einer Gaseinlaßeinheit, einer Druckerhöhungsmaschine, einem Wasserkühlwerkzeug und einer Substratstufe. Die Vakuumkammer, die bis zu acht Substrate aufnimmt, stellt die Umgebung bereit, die für den selbstinduzierten Plasmaprozess erforderlich ist. Die RF erzeugende Anlage wendet einen hochfrequenten Wechselstrom auf das Substrat an, wodurch ein gepulstes Plasmafeld entsteht. Das Gaseintrittsmodell enthält einen Massenstromregler und einen Gasdruckregler, die zur Steuerung des Drucks und der Strömungsgeschwindigkeit des Ätzgases in die Kammer beitragen. Die Druckverstärkungseinrichtung ermöglicht ein Erreichen eines höheren Drucks als bei atmosphärischem Druck möglich, während das Wasserkühlsystem zur Kondensation der Reaktionsdämpfe und zur Wärmeentnahme aus der Kammer und der HF-Erzeugungseinheit dient. Die je nach Anwendungsfall beheizbare und kühlbare Substratstufe ist verstellbar, um das Werkstück in die optimale Lage zum Plasmafeld bringen zu können. Hinsichtlich seiner Anwendungen kann GLEN R-1 in einer Reihe von Ätz- und Beizverfahren eingesetzt werden, wie Fotoätzen, Eloxieren und Trockenfilmlaminieren. Es kann für eine Vielzahl von Metallen verwendet werden, einschließlich Kupfer, Edelstahl, Aluminium, Titan und mehr. Es ist auch in der Lage, eine breite Palette von Glühprozessen durchzuführen, von Soft Annealing bis Drawn Annealing. Abschließend ist GLEN R1 ein fortschrittlicher gepulster Plasmaascher, der in seinen Fähigkeiten sehr vielseitig und in seinen Operationen unglaublich effektiv ist. Seine Benutzerfreundlichkeit und die geringen Wartungskosten machen es zum perfekten Kapital für jedes Ätzlabor.
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