Gebraucht YES / GLEN R3 #9193375 zu verkaufen

YES/GLEN R3 ist ein hochpräziser Ascher oder Ätzer, der für die Nanofabrikation verwendet wird. Es bietet eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit der Parameter beim Ätzen und ist sowohl für den Einsatz in Trocken- als auch Nassätztechniken konzipiert. Sein vielseitiges Design ermöglicht eine genaue und schnelle Einstellung verschiedener Prozessparameter für hochpräzises Ätzen. Das Gerät selbst besteht aus mehreren Einheiten, darunter einem Plasmasteuergerät, einem Netzteil, einem Äthersystem, einem Hubtisch und einem Bedienpult. Seine einzigartige Äthereinheit verwendet ein Niederdruck-, Niedrigstrom- und Niedertemperatur-ionisiertes Gasgemisch, das über mehrere Injektoren in die Verarbeitungskammer eingespeist wird, wodurch die Substrate gleichmäßig geätzt werden können. Der Plasmakontroller ist so konzipiert, dass er ein minimales Sputtern an der Probe und eine genaue Steuerung der Ionisation ermöglicht, wodurch die Ätzparameter präzise eingestellt werden können. Die Stromversorgung ermöglicht eine genaue Steuerung von Strom und Spannung und ist in der Lage, stabiles Signal für den Prozess zu liefern. Der Hubtisch dient zur Positionierung der Probe während des Ätzens und kann das Substrat zur richtigen Ätzstelle anheben oder absenken. Durch die Verwendung des verstellbaren Tisches können Substrate unterschiedlicher Dicken und Zusammensetzungen präzise geätzt werden. Die Steuerkonsole dient zur Einstellung und Überwachung der Ätzprozessparameter. Es ermöglicht Ihnen, die Zeit für das Ätzen der Probe, die Selektivität des Ätzprozesses, die Temperatur der Ätzkammer und andere Parameter zu ändern. Im Vergleich zu anderen Arten von Nanofabrikations-Ätzsystemen ist YES R 3 bekannt für seinen Niedertemperatur- und Niederdruckbetrieb sowie für seine Genauigkeit bei der Steuerung und Überwachung des Ätzprozesses. Darüber hinaus ist es eine sehr zuverlässige und langlebige Maschine, die wenig Wartung erfordert und eine breite Palette von möglichen Anwendungsszenarien ermöglicht.