Gebraucht YOKOGAWA Rainbow 4420 #9111383 zu verkaufen

YOKOGAWA Rainbow 4420
ID: 9111383
Poly etcher.
YOKOGAWA Rainbow 4420 ist eine hocheffektive Ätz- und Aschemaschine, die in Mikroelektronik und Präzisionstechnik weit verbreitet ist. Dieses System hat die Fähigkeit, eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen durchzuführen, einschließlich Plasmaätzen, Trockenätzen, Nassätzen, Trockenaschen sowie Ätzen und Aschen auf Chlorbasis. Das Gerät verfügt über eine breite Palette von programmierbaren Funktionen und Funktionen, mit denen Benutzer den Ätz- und Ascheprozess genau steuern können. Regenbogen 4420 ist mit einer gepulsten Facettenätzkammer ausgestattet, die es in der Lage macht, eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen durchzuführen. Diese Kammer verwendet hochfrequente und niederfrequente Schwingungen, um eine stabile Ätzumgebung zu erhalten und die Erzeugung korrosiver gasförmiger Nebenprodukte zu reduzieren. Die gepulste Facettenätzkammer enthält auch ein eingebautes Bandwerkzeug, das zum einfachen Entfernen von metallischen und nichtmetallischen Materialien wie Ta, Titan und Silizium aus dem Ätzbereich entwickelt wurde. YOKOGAWA Rainbow 4420 verfügt über eine einzigartige SUS316SS Materialkammer zum Plasmaätzen. Dieses Material ist für seine hervorragenden thermischen und chemischen Beständigkeitseigenschaften bekannt. Das SUS316SS Material kann das Werkstück effektiv vor chemischen Rückständen oder Verunreinigungen beim Ätzen schützen. Die Innenfläche der Kammer ist korrosionsbeständig und für alle Arten von Ätz- und Ascheprozessen ausgelegt. Regenbogen 4420 verfügt auch über eine Substrat-Heizplatte, die verwendet werden kann, um das Substrat vor und nach Ätz- oder Ascheprozessen zu erwärmen. Die Temperatur des Substrats kann durch eine thermostatisch gesteuerte Heizmaschine genau gesteuert werden. Dieses Werkzeug kann Temperaturen bis 600 ° C erreichen und eignet sich ideal für Aufgaben wie CVD/ALD, Trennverfahren und Oxid- oder Nitridätzen. Darüber hinaus enthält YOKOGAWA Rainbow 4420 eine Semi-Auto Process Shut-Down-Funktion, die verwendet werden kann, um den Ätz- oder Ascheprozess nach einer vorbestimmten Zeit zu stoppen. Diese Funktion hilft, eine sichere und effiziente Ätzoperation zu gewährleisten und unerwünschte Nebenwirkungen zu vermeiden. Rainbow 4420 verfügt auch über ein Advanced Process Control Asset (APCS), das eine Reihe von Softwarekomponenten enthält, die eine maximale Leistung bieten. Dieses Modell umfasst Komponenten wie End Point Control, Rate Control, Hold Angle Control und Tape Cut Angle Control, die Benutzern die Möglichkeit bieten, Ätz- und Auswertungsaufgaben genau zu programmieren. YOKOGAWA Rainbow 4420 ist eine äußerst zuverlässige und effiziente Ätz- und Aschelösung, die sich für verschiedene Präzisionstechnik und Mikroelektronik-Operationen eignet. Dieses Gerät bietet eine Vielzahl programmierbarer Funktionen und Funktionen, mit denen Benutzer Ätz- und Auswertungsaufgaben genau steuern und überwachen können.
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