Gebraucht YOKOGAWA Rainbow 4720 #293643500 zu verkaufen

YOKOGAWA Rainbow 4720
ID: 293643500
Weinlese: 1995
Dry etcher 1995 vintage.
YOKOGAWA Rainbow 4720 ist ein flexibler und vielseitiger Trockenätzer/Ascher, der für fortschrittliche Prozesse entwickelt wurde und einen höheren Durchsatz und Ertrag bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen der nächsten Generation erzielt. Diese Hochleistungs-Ätz-/Ascher-Ausrüstung hat eine maximale geätzte/ashed Fläche von 12,7 cm und eine maximale Substratgröße von 8 Zoll. Der äußerst kostengünstige Aspekt der Wartung ermöglicht einen effizienteren und kostengünstigeren Ätzvorgang. Rainbow 4720 ist ein Plasmaätzer/Ascher, der Anwendungen für eine breite Palette von Materialien wie Si, GaAs, SiC und SiGe bietet. Es ermöglicht auch Hochdurchsatzverfahren, wie Tieftemperaturglühen und schnelles Hybridbonden. Mit seinem Hochgeschwindigkeits-Kohlendioxid (CO2) -Gasstrom bietet YOKOGAWA Rainbow 4720 hohe Ätzraten, die die Verarbeitung einer Vielzahl von Materialien in kürzester Zeit ermöglichen. Regenbogen 4720 ist in der Lage, eine hohe Prozessgleichförmigkeit über das Substrat zu erreichen, auch mit begrenzter Kammerfläche. Es verfügt auch über variable Steuerung von Ätzparametern wie Gasfluss, HF-Leistung und Arbeitsdruck, um hochauflösende Ätzoperationen zu erreichen. Darüber hinaus verfügt YOKOGAWA Rainbow 4720 über nachvollziehbare Ätzdatensätze und wiederholbare Prozessergebnisse, die eine hohe Prozesskontrolle und Reproduzierbarkeit ermöglichen. Rainbow 4720 verfügt über ein ausgeklügeltes erweitertes Datenbankmanagementsystem zur Prozesssteuerung und -verfolgung. Dies ermöglicht eine effiziente parallele Verarbeitung und schnelle Überwachung von In-Process-Daten. Alle Daten können von einer einzigen Benutzeroberfläche aus angezeigt werden und die Daten können einfach mit anderen Benutzern in einer sicheren Umgebung geteilt werden. Der Ätzer/Ascher hat auch eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, um Unfälle zu verhindern, wie automatische Abschaltung bei Gasleck, Gasstrom und Druckfehlern. Darüber hinaus kann die interne Einheit von YOKOGAWA Rainbow 4720 Warnungen senden, wenn Prozessparameter kritische Werte erreichen. Rainbow 4720 ist eine fortschrittliche und zuverlässige Ätz-/Aschermaschine, die leicht aufrüstbar ist, um neueren Prozessanforderungen gerecht zu werden. Es wurde speziell entwickelt, um den Anforderungen der fortschrittlichsten Prozesse gerecht zu werden, um die Herstellung von Hochleistungs-Halbleiterbauelementen zu erleichtern. Mit seiner hohen Prozessgleichmäßigkeit und Flexibilität ist es die ideale Lösung für Anwendungen in der Halbleiterindustrie.
Es liegen noch keine Bewertungen vor