Gebraucht DENTON VACUUM Explorer 14 #293774927 zu verkaufen
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ID: 293774927
Sputtering system
Deposition chamber:
Chamber and control cabinet
304L Stainless steel chamber (14" wide x 18" tall)
Substrate size capability: 100 mm Ø
Magnetron capability: Up to 3" target diameter
Internal chamber deposition shield
Deposition chamber pumping:
Turbo pump and controller range: 620 l/s
EDWARDS XDS10 Dry scroll pump
High vacuum
3-Position gate valve
Vacuum gauging and process gas control:
Pirani/Bayard-Alpert gauge transmitter/Bayard-Alpert gauge transmitter
Ceramic capacitance manometer: 1 TORR FS
(2) Mass flow controller (Ar and N2)
MKS Controller
Sputter sources:
(3) 2.0" Diameter, internal "stalk-mounts"
(3) Flex type, planar magnetron sputter sources
Direct cooled for Ti
(3) Independent electro-pneumatic cathode shutters
Control and automation:
Color touch panel control and graphical status display
Multimode capabilities: Auto pump, auto vent, manual, automatic
Substrate stage: RF Bias
DVI RF Bias, 100 mm substrate stage assembly
RPM: 0-20
Sputter power supplies:
DC Power supply: 1 kW
RF Power supply: 300 Watt
DC Switch A/B select.
DENTON VACUUM Explorer 14 ist eine fortschrittliche Dünnschichtabscheidung, die allgemein als Verdampfer bekannt ist. Dieses hochmoderne Instrument wurde entwickelt, um dünne Filme aus verschiedenen Materialien durch den Prozess der physikalischen Aufdampfung (PVD) in einer Hochvakuumumgebung zu erzeugen. Explorer 14 wird von DENTON VACUUM hergestellt, einem führenden Anbieter von Dünnschichtabscheideanlagen, die für ihre innovativen Technologien und überlegene Leistung bekannt sind. DENTON VACUUM Explorer 14 ist mit einer breiten Palette von Funktionen und Funktionen ausgestattet, die es ideal für Forschung und industrielle Anwendungen in Bereichen wie Mikroelektronik, Optik und Materialwissenschaft machen. Das System ist für eine präzise Kontrolle und Gleichmäßigkeit der Dünnschichtabscheidung ausgelegt, so dass Forscher und Ingenieure hochwertige Folien mit ausgezeichneter Haftung und gleichmäßiger Dicke erzielen können. Eines der Hauptmerkmale von Explorer 14 sind seine vielseitigen Abscheidungsquellen, die widerstandsfähige thermische Verdampfungsquellen, Elektronenstrahlverdampfungsquellen und Sputterquellen umfassen. Diese Quellen ermöglichen es Anwendern, eine Vielzahl von Materialien, einschließlich Metalle, Oxide und Nitride, mit außergewöhnlicher Kontrolle über Abscheidungsraten und Filmeigenschaften abzulegen. Das Gerät ist auch kompatibel mit mehreren Substratgrößen und -formen, so dass es für eine breite Palette von Mustertypen und Anwendungen geeignet ist. DENTON VACUUM Explorer 14 ist mit fortschrittlichen Vakuumpump- und Druckregelsystemen ausgestattet, um die für die Dünnschichtabscheidung erforderlichen Hochvakuumbedingungen zu schaffen und aufrechtzuerhalten. Die Maschine umfasst eine Hochgeschwindigkeits-Turbomolekularpumpe und eine trockene Spiralpumpe, die zusammenarbeiten, um einen Basisdruck im Ultrahochvakuumbereich zu erreichen und aufrechtzuerhalten. Die präzise Druckregelung wird durch ein ausgeklügeltes Gasflussregelwerkzeug erleichtert, mit dem der Benutzer die Gasflussraten und -zusammensetzung während des Abscheidungsprozesses einstellen kann. Explorer 14 verfügt über eine benutzerfreundliche Schnittstelle und eine Software-Steuerung, die eine einfache Bedienung und Überwachung des Abscheidungsprozesses ermöglicht. Das Modell kann so programmiert werden, dass komplexe Abscheidungssequenzen automatisch ausgeführt werden, sodass Benutzer individuelle Abscheidungsrezepte für bestimmte Filmstrukturen und -eigenschaften erstellen können. Die Echtzeit-Überwachung von Abscheidungsparametern wie Abscheiderate, Filmdicke und Substrattemperatur erfolgt über die intuitive Softwareschnittstelle des Geräts. Neben seinen erweiterten Funktionen für die Dünnschichtabscheidung ist DENTON VACUUM Explorer 14 auch auf einfache Wartung und Wartungsfreundlichkeit ausgelegt. Das System umfasst ergonomische Konstruktionsmerkmale wie einfachen Zugang zu Abscheidequellen und Vakuumkomponenten sowie einen modularen Aufbau, der den Austausch von Komponenten und Upgrades vereinfacht. DENTON VACUUM bietet umfassenden technischen Support und Schulungen, mit denen Benutzer die Leistung und Verfügbarkeit von Explorer 14 maximieren können. Insgesamt ist DENTON VACUUM Explorer 14 eine hochmoderne Dünnschichtabscheideeinheit, die außergewöhnliche Leistung, Vielseitigkeit und Benutzerfreundlichkeit für eine breite Palette von Forschungs- und Industrieanwendungen bietet. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und Fähigkeiten ist Explorer 14 ein wertvolles Werkzeug für Forscher und Ingenieure, die hochwertige dünne Filme mit präziser Kontrolle und Reproduzierbarkeit erstellen möchten.
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