Gebraucht ULVAC CRTM-8000 #9105412 zu verkaufen

ULVAC CRTM-8000
Hersteller
ULVAC
Modell
CRTM-8000
ID: 9105412
Quartz crystal film thickness measurement system.
ULVAC CRTM-8000 ist ein Verdampfer für eine Vielzahl von Anwendungen bei der Abscheidung von Dünnschichtmaterialien. Dieser Verdampfer ist mit einer fortschrittlichen Dampfphasentransportausrüstung (VAPT) ausgestattet. Das System verwendet eine von ULVAC patentierte präzise Elektronenstrahlquelle (PEBS). Dabei wird ein präziser Elektronenstrahl mit einer speziell entwickelten Magnetlinse zur Steuerung des Abscheidungsprozesses verwendet. CRTM-8000 Verdampfer ist in der Lage, ein Maß an Genauigkeit und Homogenität zu erreichen, das typischerweise mit der Dampfphasenabscheidung verbunden ist - weit über der Standard-thermischen Verdampfung. ULVAC CRTM-8000 hat einen Temperaturbereich von 0- 800℃, eine Kammergröße von 120mm und eine Vakuumstärke von 10-7 Torr. Es verfügt über einen Gasdiffusionsquellenmechanismus, der den Dampfphasentransport mehrerer Gase mit hohem Wirkungsgrad ermöglicht. Diese Einheit verwendet erweiterte Rückkopplungssteuerungsalgorithmen, um die Dampftransport- und -abscheidungsprozesse zu steuern. CRTM-8000 hat eine hohe thermische Gleichmäßigkeit und kann in einer Vielzahl von Abscheidungsmodi wie LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition), PECVD (Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition) und Sputtering Deposition (PVD) verwendet werden. ULVAC CRTM-8000 verfügt über eine schnelle thermische Ansprechzeit, die eine schnelle Materialverdampfung und -abscheidung gewährleistet. Es verfügt auch über eine fortschrittliche Wärmesteuerungsmaschine, die eine stabile Temperatur innerhalb der Abscheidekammer genau überwachen und aufrechterhalten kann. Das Werkzeug verwendet fortschrittliche Temperaturerfassungs-, Heiz-, Kühl- und Dämpfungstechniken, um die Temperatur für die präzise Abscheidung von Dünnschichtmaterialien zu optimieren und aufrechtzuerhalten. CRTM-8000 können für Einzelwafer- oder Stapelverarbeitungsanwendungen konfiguriert werden und haben aufgrund ihrer Hochleistungskomponenten und des fortschrittlichen Asset-Designs niedrige Betriebskosten. Das Modell verwendet auch eine 6-Elektrode-Positron-Emissionsanlage, die sowohl in hoher als auch in niedriger Dosis arbeitet und zur Dünnschichtabscheidung von feuerfesten Materialien wie amorphem Silizium, Polysilizium verwendet werden kann und auf Substraten wie Metallen, Keramiken und Glas verwendet werden kann. ULVAC CRTM-8000 ist ein effizienter und kostengünstiger Verdampfer für eine Vielzahl von Anwendungen. Seine fortschrittlichen Eigenschaften ermöglichen es, hohe Abscheidungsgenauigkeit und Homogenität zu erreichen, gepaart mit einer präzisen Temperaturregelung, wodurch es die ideale Lösung für eine Vielzahl von Dünnschichtabscheidungsprozessen ist.
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