Gebraucht ULVAC EBX-10C #293649865 zu verkaufen
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ID: 293649865
Weinlese: 1982
Vapor deposition system
Chamber: 650×800 mm
(3) Resistance heating (Front door type)
Vacuum gauge
Film thickness gauge with revolving jig
Required cooling water: 2kg/cm²G (10ℓ/min)
Required air pressure: 5kg/cm²G
Substrate holder size: 430 mm
Effective deposition range: 350 mm
1982 vintage.
ULVAC EBX-10C ist ein Hochleistungsverdampfer, der einen kostengünstigen und effizienten Verdampfungsprozess für Anwendungen wie Dünnschichtabscheidung und Oberflächenbehandlung bietet. Der Verdampfer eignet sich gut für fortgeschrittene Forschungs-, Entwicklungs- und Produktionsprozesse. Dieser Verdampfer verfügt über eine platinierte Elektrode der ULVAC X-Serie und das patentierte EBX (EVAPoration Bias eXchange) -Verfahren. Diese patentierte Technologie ermöglicht es dem Verdampfer, Hochgeschwindigkeitsverdampfungen mit einer minimalen Menge an Eingangsenergie durchzuführen und eine hohe Gleichmäßigkeit in der abgeschiedenen Folie zu erreichen. Die hohe Gleichmäßigkeit der Abscheiderate ermöglicht höhere Produktausbeuten, schnellere Prozesszeiten und hohe Leistung. EBX-10C besteht aus einem vakuumdichten Edelstahl-Grundkörper und einer zuverlässigen robusten Vakuumausrüstung. Das Vakuumsystem verfügt über eine Turbomolekularpumpe, einen Vakuummesser, einen Vakuumregler und einen Ölnebelfilter. Diese Einheit ermöglicht einen stabilen Verdampfungsprozess und reduziert den Aufbau von Verunreinigungen. Der Verdampfer ist mit einem hochpräzisen Massenstromregler und einer Heizung ausgestattet, die eine genaue Temperaturregelung während des Filmabscheidungsprozesses ermöglichen. Der Massenstromregler sorgt für eine präzise Überwachung des Wärmeeintrags und der Foliendicke und ermöglicht so die Produktkonsistenz. Der Verdampfer ist ferner mit einer Thermoelement-Rückkopplungsmaschine ausgestattet, die die Abscheiderate überwacht, um eine präzise Substrattemperaturregelung zu gewährleisten. ULVAC EBX-10C ist zudem mit einer automatisierten programmierbaren Steuerung (SPS) ausgestattet, die eine automatisierte Steuerung des Verdampfers ermöglicht. Das SPS-Werkzeug bietet eine präzise Kontrolle über die Heizrate, die Vakuumparameter und die Filmdicke. Diese präzise Steuerung sorgt für eine gleichmäßige Abscheidung und vermeidet Über- oder Unterabscheidung, was zu einer höheren Leistungsfähigkeit und Qualitätskontrolle führt. Die Verdampfungskapazität von EBX-10C ist berührungslos, bietet eine bessere Abscheidungsleistung und verbesserte Sicherheit. Der Verdampfer wurde entwickelt, um die Wartung auf ein Minimum zu beschränken, da er keine Metall-Metall-Kontaktpunkte hat und keine zusätzliche Reinigung erfordert, was eine einfache Wartung und lange Lebensdauer ermöglicht. Zusammenfassend ist ULVAC EBX-10C ein fortschrittlicher Hochleistungsverdampfer für eine effiziente Dünnschichtabscheidung und Oberflächenbehandlung. Der Verdampfer verfügt über ein robustes Vakuummodell, einen hochpräzisen Massenstromregler und eine dynamische Thermoelement-Rückkopplungsausrüstung, die eine präzise Temperaturregelung und eine gleichmäßige Abscheidung ermöglicht. Dank seines SPS-Systems ist EBX-10C auch in der Lage, automatisiert zu steuern und bietet eine überlegene Wiederholbarkeit, die höhere Produktausbeuten und eine bessere Kontrolle des Prozesses ermöglicht.
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