Gebraucht ULVAC EBX-16C #9111735 zu verkaufen

ULVAC EBX-16C ist ein hochpräzises Verdampfungssystem zur Dünnschichtabscheidung und Halbleiterherstellung. Dieser Verdampfer bietet maximale Flexibilität in Bezug auf Verdampfungsquellen, Prozeßregelparameter und Kammergrößen, um den unterschiedlichen Anforderungen verschiedener Abscheidungsanwendungen gerecht zu werden. Die Heizzone des Verdampfers ist mit einer 16 kW Hochfrequenz-, Fast- Etch™ Lichtbogenpistole für eine verbesserte Heizleistung und eine gleichmäßige Abscheiderate ausgestattet. EBX-16C verfügt über eine glockenförmige beheizte Zone mit einer flachen Kegelform, die dazu beiträgt, Verstopfungen zu reduzieren und eine gleichmäßige Gleichmäßigkeit der Folie zu gewährleisten. Die flache Glockenform minimiert zudem den Wärmeverlust und hilft, die Verdunstungstemperatur auch bei empfindlicheren Ablagerungen zu halten. Auch für Ablagerungen auf kleinen Substraten steht ein separater Injektor zur Verfügung. ULVAC EBX-16C wird durch einen Temperaturregler mit niedriger thermischer Emission, der eine präzise, einstellbare und zuverlässige Temperaturregelung bietet, temperiert. Das System ist auch mit aktiver Emissionsminderung ausgestattet, die zusätzliche Sicherheit und Stabilität bietet. EBX-16C verfügt über einen hohen Automatisierungsgrad, der eine einfache und konsistente Anwendung ermöglicht. Es verfügt über ein intuitives Touchscreen-Kontrolldisplay, mit dem der Bediener auf alle relevanten Prozessparameter und -einstellungen zugreifen und diese ändern kann. ULVAC EBX-16C wird auch durch Software unterstützt, die Datenerfassung und -analyse sowie Nachbearbeitungsfunktionen ermöglicht. EBX-16C wurde entwickelt, um die anspruchsvollsten Anforderungen an Präzision und Wiederholbarkeit bei der Dünnschichtabscheidung zu erfüllen. Die zuverlässige Leistung des Verdampfers, die ausgezeichnete Temperaturgleichmäßigkeit und die geringe Wärmeemission machen ihn zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Der Einsatz fortschrittlicher Prozesskontrolltechnologien, einschließlich Softwareprogrammierung, bietet Anwendern die Möglichkeit, noch präzisere Ergebnisse zu erzielen.