Gebraucht ULVAC EGO-40M #9078387 zu verkaufen

ULVAC EGO-40M
Hersteller
ULVAC
Modell
EGO-40M
ID: 9078387
EB gun.
ULVAC EGO-40M ist ein schneller thermischer Verdampfer zur Dünnschichtabscheidung. Es wurde speziell für Anwendungen entwickelt, die hohe Abscheidungsraten erfordern, wie Photovoltaikzellen, biokombinatorische Forschung und MEMS-Geräte. EGO-40M hat eine hochpräzise Temperatur- und Dampfdruckregelung, um genaue und reproduzierbare Ergebnisse zu gewährleisten. ULVAC EGO-40M verwendet ein Hochleistungsmagnetron, um eine Hochgeschwindigkeitsabscheiderate von mehr als 10X als bei herkömmlichen Verdampfern bereitzustellen. Es verwendet einen Multi-Target-Halter mit sechs Taschen, um bis zu sechs verschiedene Ziele gleichzeitig unterzubringen, was ein schnelles und einfaches Wechseln der Ziele ermöglicht und eine mehrschichtige Abscheidung ermöglicht. EGO-40M verfügt über eine patentierte Jet-Cooling-Technologie, die eine Überhitzung des Ziels verhindert und höhere Abscheidungsraten bietet. ULVAC EGO-40M verfügt außerdem über eine integrierte Stromversorgung und einen VLC-Controller, wodurch der Verdampfer sehr intuitiv und benutzerfreundlich ist. Es verfügt über eine unabhängige Temperaturregelung für jede Tasche, die Kontrolle über die Verdampfungstemperatur gibt und eine präzise Temperaturregelung ermöglicht. EGO-40M verfügt über einen integrierten PC, mit dem Benutzer ihre eigenen Rezepte erstellen, Daten sammeln und die Datenkommunikation mit anderen Systemen bereitstellen können. Darüber hinaus verfügt ULVAC EGO-40M über einen Vakuummonitor mit einem Lecksuchsignal, das anzeigt, ob das System während des Betriebs Vakuum verliert oder undicht ist. Es hat auch einen Übertemperaturschutz, der die Heizungen abschaltet, wenn die Temperatur die eingestellten Werte überschreitet, und ein Vakuumpumpen, das hilft, den optimalen Kammerdruck während des Betriebs aufrechtzuerhalten. EGO-40M hat einen geringen Platzbedarf und ist für einfache Installation und Wartung ausgelegt. ULVAC EGO-40M ist in der Lage, eine Reihe von Materialien zu verdampfen, darunter organische, Metalle, Dielektrika, III-V-Verbindungen und Legierungen, so dass es ein vielseitiges Werkzeug für Dünnschichtabscheidung. Es ist mit hochpräzisen Sicherheits- und Schutzfunktionen ausgestattet und entspricht den UL- und CE-Sicherheitsstandards. Mit seiner hochpräzisen Temperatur- und Dampfdruckregelung, schnellen Abscheideraten und mehreren Zielabscheidungsfähigkeiten ist EGO-40M ein idealer Verdampfer für Dünnschichtabscheidungsanwendungen.
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