Gebraucht ULVAC ei-OPT085 #9376087 zu verkaufen

Hersteller
ULVAC
Modell
ei-OPT085
ID: 9376087
Wafergröße: 4"
Weinlese: 2010
Optical evaporation system, 4" Wafer size: φ50mm±1.0mm Thickness: 280±15μm Dome size: 790φmm (4" Wafer x 110Pcs) EB-Gun: EG0-1G HPS-1000G-100 EB Power supply, 10kW LR90 Dry pump CP11 U-16P Cryo pump DRP11 Dry pump with LR-90 Silencer MFC: O2 Gas, 50 SCCM Lamp heater: Maximum 350°C PLC CPU C-30VR Cryo compressor TOKYO INSTRUMENTATION FS12-13-21-22 FA Series flow switch VEECO Ion gun controller screen CRTM-9000G Film thickness monitor ET1515LJ Touch panel system BENQ Monitor, 15" Main source shutter (4) Heating lamp units Main breaker IG Filament gauge Ion gun Pig gauge MAINTE Button cover Holder Lid plate (4) Spare parts for protective board No quartz oscillator No EBGU No dome 2010 vintage.
ULVAC ei-OPT085 Verdampfer ist eine Hochleistungsausrüstung für den Vakuumabscheidungsprozess. Es handelt sich um eine Art physikalischer Aufdampfverdampfer (PVD), der zur Aufbringung von metallischen oder keramischen Folien auf die Substratoberflächen ausgebildet ist. Das System wird hauptsächlich für industrielle Anwendungen verwendet und als solches seine primäre Funktion ist es, Dünnschichtabscheidung auf verschiedenen Oberflächen mit höchster Präzision zur Verfügung zu stellen. Ei-OPT085 ist ein Einzelsubstratverdampfer mit symmetrischer Bauweise und Hochvakuumkammern. Seine zylindrischen Wände sind aus hochbeständigem Edelstahl mit Abmessungen von 200 mm (Durchmesser) und 600 mm (Höhe) gefertigt. Der Verdampfer weist einen thermischen Widerstand von 0,2 (C/s) auf. Darüber hinaus bietet es eine ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit und hilft der Substratoberfläche, die gewünschte Temperatur schnell zu erreichen. Die Abscheidekammer weist einen Vakuumspiegel von 330μM/sec mit einem Austrittsdruckmesser auf. Der Verdampfer verwendet ULVAC patentierte A-Mode Flow Booster (AFB) Technologie, um den Dampfstrom genau zu steuern. Dadurch wird eine konsistente und zuverlässige Abscheidung gewährleistet. ULVAC ei-OPT085 wird von einer frequenzvariablen Antriebseinheit angetrieben, die den Bedarf an mechanischen Komponenten reduziert. Ei-OPT085 verfügt über mehrere Funktionen zur Steuerung des Produktionsprozesses, einschließlich einer präzisen Temperatursteuerungsmaschine, einem computergestützten Analysetool, einem Temperaturrückkopplungskontrollgerät und einem Datenlogger. Darüber hinaus verfügt der Verdampfer über intelligente Abscheidungssteuerungsfähigkeiten, automatische Überwachung verschiedener kritischer Parameter und schnelle Prozessanpassungsfunktionen. Ein fortschrittliches Kühlmodell bietet dem Verdampfer eine überlegene Temperaturregelung, wodurch er eine hochwertige Filmabscheidung mit minimalen Verunreinigungen ermöglicht. Insgesamt ist der ULVAC ei-OPT085 Verdampfer eine fortschrittliche Ausrüstung für die physische Bedampfung und bietet Anwendern zuverlässige Leistung und hochgenaue Ergebnisse. Mit seinen einzigartigen Eigenschaften und seinem effizienten Design eignet sich das System ideal für den Einsatz in Branchen wie der Halbleiter-, Elektronik- und Medizingeräteherstellung.
Es liegen noch keine Bewertungen vor