Gebraucht ULVAC ei-OPT085 #9376087 zu verkaufen
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ID: 9376087
Wafergröße: 4"
Weinlese: 2010
Optical evaporation system, 4"
Wafer size: φ50mm±1.0mm
Thickness: 280±15μm
Dome size: 790φmm (4" Wafer x 110Pcs)
EB-Gun: EG0-1G
HPS-1000G-100 EB Power supply, 10kW
LR90 Dry pump
CP11 U-16P Cryo pump
DRP11 Dry pump with LR-90 Silencer
MFC: O2 Gas, 50 SCCM
Lamp heater: Maximum 350°C
PLC CPU
C-30VR Cryo compressor
TOKYO INSTRUMENTATION FS12-13-21-22 FA Series flow switch
VEECO Ion gun controller screen
CRTM-9000G Film thickness monitor
ET1515LJ Touch panel system
BENQ Monitor, 15"
Main source shutter
(4) Heating lamp units
Main breaker
IG Filament gauge
Ion gun
Pig gauge
MAINTE Button cover
Holder
Lid plate
(4) Spare parts for protective board
No quartz oscillator
No EBGU
No dome
2010 vintage.
ULVAC ei-OPT085 Verdampfer ist eine Hochleistungsausrüstung für den Vakuumabscheidungsprozess. Es handelt sich um eine Art physikalischer Aufdampfverdampfer (PVD), der zur Aufbringung von metallischen oder keramischen Folien auf die Substratoberflächen ausgebildet ist. Das System wird hauptsächlich für industrielle Anwendungen verwendet und als solches seine primäre Funktion ist es, Dünnschichtabscheidung auf verschiedenen Oberflächen mit höchster Präzision zur Verfügung zu stellen. Ei-OPT085 ist ein Einzelsubstratverdampfer mit symmetrischer Bauweise und Hochvakuumkammern. Seine zylindrischen Wände sind aus hochbeständigem Edelstahl mit Abmessungen von 200 mm (Durchmesser) und 600 mm (Höhe) gefertigt. Der Verdampfer weist einen thermischen Widerstand von 0,2 (C/s) auf. Darüber hinaus bietet es eine ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit und hilft der Substratoberfläche, die gewünschte Temperatur schnell zu erreichen. Die Abscheidekammer weist einen Vakuumspiegel von 330μM/sec mit einem Austrittsdruckmesser auf. Der Verdampfer verwendet ULVAC patentierte A-Mode Flow Booster (AFB) Technologie, um den Dampfstrom genau zu steuern. Dadurch wird eine konsistente und zuverlässige Abscheidung gewährleistet. ULVAC ei-OPT085 wird von einer frequenzvariablen Antriebseinheit angetrieben, die den Bedarf an mechanischen Komponenten reduziert. Ei-OPT085 verfügt über mehrere Funktionen zur Steuerung des Produktionsprozesses, einschließlich einer präzisen Temperatursteuerungsmaschine, einem computergestützten Analysetool, einem Temperaturrückkopplungskontrollgerät und einem Datenlogger. Darüber hinaus verfügt der Verdampfer über intelligente Abscheidungssteuerungsfähigkeiten, automatische Überwachung verschiedener kritischer Parameter und schnelle Prozessanpassungsfunktionen. Ein fortschrittliches Kühlmodell bietet dem Verdampfer eine überlegene Temperaturregelung, wodurch er eine hochwertige Filmabscheidung mit minimalen Verunreinigungen ermöglicht. Insgesamt ist der ULVAC ei-OPT085 Verdampfer eine fortschrittliche Ausrüstung für die physische Bedampfung und bietet Anwendern zuverlässige Leistung und hochgenaue Ergebnisse. Mit seinen einzigartigen Eigenschaften und seinem effizienten Design eignet sich das System ideal für den Einsatz in Branchen wie der Halbleiter-, Elektronik- und Medizingeräteherstellung.
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