Gebraucht ULVAC LIS #9078392 zu verkaufen

ULVAC LIS ist ein Verdampfer der Firma ULVAC, Inc., die sich auf Vakuumtechnik spezialisiert hat. Es handelt sich um einen Niedervakuumverdampfer, der vor allem in der Halbleiter- und Optoelektronik eingesetzt wird. Der Verdampfer soll eine schnelle und gleichmäßige Verdampfung von Dünnschichtmaterialien mit beeindruckender Präzision und Wiederholbarkeit ermöglichen. LIS ist aus einer Kombination von Keramik- und Edelstahlmaterialien gefertigt, die ihm eine leichte, aber langlebige Konstruktion verleiht. Sie besteht aus einer Zerstäubereinheit, einer Vakuumkammer und einem Substratfutter. Die Zerstäubereinheit enthält eine HF-induzierte Antenne, Helium- und/oder Stickstoffgas und ein Verschlusssystem, das die Geschwindigkeit und Dauer der Verdampfung steuern kann. Die Vakuumkammer besteht aus Edelstahl und enthält eine keramische Kammerauskleidung. Das Substratfutter hält das Substrat und kann eingestellt werden, um eine gleichmäßige Verdampfung der Dünnschichtschicht zu gewährleisten. ULVAC LIS hat einen Vakuumspiegel von 10-5torr und einen Temperaturbereich von 0-500 ° C. Es ist ein schnell wirkender Verdampfer und kann bis zu 1 nm Material in Sekunden verdampfen, was es ideal für den volumenstarken Bedarf der Halbleiterindustrie macht. Darüber hinaus gewährleistet seine genaue Positionierung der HF-Quelle eine gleichmäßige Verdampfung über das gesamte Substrat. LIS ist einfach zu bedienen und erfordert eine minimale Wartung. Es ist mit einem Bordcomputer ausgestattet, der detaillierte Bedienungs- und Sicherheitshinweise enthält. Darüber hinaus verfügt es über Sicherheitsfunktionen wie Überdruckschutz und Warnmelder. Der Verdampfer hat auch eine modulare Konstruktion, die es ermöglicht, leicht zu zerlegen für schnellen Service oder Austausch von Teilen. ULVAC LIS bietet eine konsistente Substratabdeckung und eignet sich gut für eine Vielzahl von Dünnschichtprozessen, einschließlich Oxidfilmabscheidung, resistiver Filmabscheidung, Verdünnung abgeschiedener Filme und erweiterter Waferintegration. Seine Gleichmäßigkeit der Verdampfung macht es ideal für präzise Dünnschichtanwendungen wie die Produktion integrierter Schaltungen. Darüber hinaus ist es aufgrund seiner Geschwindigkeit und Temperaturregelung ein idealer Verdampfer für Prozesse, die eine schnelle und gleichmäßige Verdampfung erfordern.