Gebraucht ULVAC Satella #9160531 zu verkaufen
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ID: 9160531
Weinlese: 2006
Vacuum evaporation system
Cluster tool
Substrate size: 185mm x 235mm x 0.7mmt
Tact time: 30 minutes
Applications: R&D, device prototypes
System configuration:
Pre-processing →Hole layer→Luminescent layer (R→G→B) →Electrode layer→ Sealing (manual)
Organic deposition processes
Multiple independent chamber
Full-color device production
Difficult application for Solciet
7-Sided transfer chamber
Support 2 to 4 organic deposition chambers
High-precision mask alignment mechanism for active-matrix full-color devices
Currently de-installed
2006 vintage.
ULVAC Satella ist eine innovative Sputterausrüstung zur Dünnschichtabscheidung. Das System hat eine einzigartige Konfiguration, die aus einer HF-Magnetron-Sputterquelle und einer gasbetriebenen Ionenquelle in einer horizontalen Ebene besteht. Das Gerät produziert hochwertige, einheitliche Folien, die in einer Vielzahl von industriellen, medizinischen und analytischen Anwendungen eingesetzt werden. Die Maschine enthält eine Hochfrequenz (RF) Magnetron-Sputterquelle, die an der Basis des Grundkörpers angebracht ist. Diese Quelle ermöglicht die Abscheidung von leitfähigen Filmen mit hoher Geschwindigkeit. Die Ionenquelle, die von einer Hochspannungsgasquelle (HV) gespeist wird, befindet sich in einer vertikalen Ebene. Dies ermöglicht einen gleichzeitigen Ionenbeschuss der metallischen Targets und ermöglicht eine glatte, saubere Oberflächenbeschichtung. Satella eignet sich aufgrund seines effizienten Designs und seiner leistungsstarken Materialbearbeitungsmöglichkeiten gut für die Herstellung von Hartbeschichtungen auf Metallsubstraten. Das Werkzeug hat eine ausgezeichnete Kontrolle über die Materialionisierung und ist somit ideal für Werkstückbeschichtungsanwendungen geeignet. Die Ionenquelle erzeugt auch bei extrem niedrigen Temperaturen hochfokussierte Strahlen, die eine gleichmäßige Abscheidung ohne Schadensgefahr gewährleisten. Das Asset verfügt über mehrere benutzerfreundliche Funktionen, wie eine grafische Benutzeroberfläche (GUI) für die einfache Bedienung sowie die automatische Abscheidung der Filmschicht. Es kommt auch mit einem Sortiment von nützlichen Funktionen, wie Temperaturregelung, Druckregelung und automatische Kalibrierung. Das Modell ist mit vielen Adaptern kompatibel, einschließlich Robotik, wodurch es für mehrere Prozessflusskonfigurationen und Automatisierung geeignet ist. ULVAC Satella verfügt über eine vollautomatische und programmierbare Sputteranlage, die zu reduzierten Rüstzeiten und erhöhtem Produktionsdurchsatz führt. Es kann für eine Vielzahl von Dünnschichtabscheidungsprozessen verwendet werden, einschließlich Metallverdampfung, Dünnschichtabscheidung, Halbleiterabscheidung und Ionenimplantation. Satella ist ein zuverlässiges, benutzerfreundliches und kostengünstiges Sputtersystem, das hochwertige, einheitliche Folien mit ausgezeichneter Leistung erzielt. Mit seinen robusten Fähigkeiten und seinem intuitiven Design ist das Gerät eine praktikable Option für Unternehmen, die die Qualität ihrer Produkte schnell verbessern möchten.
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