Gebraucht AXCELIS / FUSION 150 #9384765 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION 150 ist ein anspruchsvolles Belichtungsgerät, das von FUSION Technologies Inc. entwickelt wurde und für verschiedene Halbleiterherstellungsprozesse verwendet wird. Dieses System eignet sich gut für Anwendungen wie Waferbearbeitung, Lithographie, Chemoepitaxie und MEMS-Herstellung. Dieses Gerät bietet fortschrittliche Funktionen, um die strengen Anforderungen der heutigen Halbleiterindustrie zu erfüllen und bietet überlegene Leistung und Zuverlässigkeit. FUSION 150 basiert auf einer Off-Axis, Pattern-Field-Beleuchtung (PFIL) Plattform. Diese einzigartige Plattform ermöglicht die Belichtung von nicht symmetrischen Merkmalen mit hoher Präzision. Die Maschine hat Abbildungs- und Beleuchtungsauflösungen von 1,4 bzw. 14 nm. Es verwendet ein automatisiertes Ausrichtungstool mit einer Reihe von Bildverarbeitungsalgorithmen, um eine präzise und wiederholbare Feldmusterung zu gewährleisten. Die Anlage ermöglicht auch eine feinkörnige Expositionskontrolle und Anpassung. Das Modell ist vollständig mit fortschrittlicher Messtechnik und fortschrittlicher Bewegungssteuerung integriert, um einen hohen Durchsatz und präzise Ergebnisse zu garantieren. Sein hochauflösendes Toolkit ermöglicht eine genaue Overlay und Wiederholbarkeit, während seine messtechnischen Fähigkeiten eine gleichmäßige Waferbelichtung gewährleisten. Es unterstützt eine Reihe programmierbarer Feldgrößenkonfigurationen wie Vollfeld, Quadrant und Segment, um eine präzise wiederholte Positionierung und Belichtung zu ermöglichen. AXCELIS 150 ist sehr energieeffizient und umfasst ein leistungsstarkes Energiemanagement mit integrierten Strom- und Kühlaggregaten. Für optimale Energieeffizienz und Zuverlässigkeit sind alle notwendigen Strom- und Kühlkomponenten in das System integriert. Das Gerät entspricht den globalen Sicherheits- und behördlichen Anforderungen und ist auf Zuverlässigkeit und langfristigen Betrieb ausgelegt. Es ist auch mit einer intuitiven Benutzeroberfläche gebaut, die eine einfache und intuitive Bedienung ermöglicht. Darüber hinaus verfügt es über eine robuste Maschinenkonfiguration, die eine schnelle und einfache Integration und Ausführung von Werkzeugen ermöglicht. 150 verfügt über verschiedene Funktionen wie automatische Ausrichtung, integrierte Feldmusterung, komplette Automatisierung und hohe Energieeffizienz. Es ist eine ideale Wahl für hochpräzise Belichtungsprozesse und kostengünstige Waferfertigung. Seine fortschrittlichen Eigenschaften und der zuverlässige Betrieb machen es für die Anforderungen der Halbleiterproduktion sehr geeignet.