Gebraucht AXCELIS / FUSION 150PC #84749 zu verkaufen
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AXCELIS/FUSION 150PC ist ein hochmodernes Hochleistungs-Wafer- und Maskenbelichtungsgerät, das den hohen Anforderungen der fortschrittlichen Photolithographie-Verarbeitung gerecht wird. FUSION 150PC verfügt über ein Zwei-in-Eins-Architekturdesign, eine vollständig integrierte optische Säule mit zwei unabhängigen Wafer- und Maskenstufen. Diese einzigartige Zwei-in-One-Architektur ermöglicht die gleichzeitige Belichtung eines Wafers und einer Maske und ist damit die perfekte Wahl, um die hohen Anforderungen an einen erhöhten Durchsatz in der fortschrittlichen Lithographieverarbeitung zu erfüllen. Das System nutzt einen leistungsstarken programmierbaren Laserantrieb und eine integrierte Masken- und Wafer-Reticle-Bühne, um eine präzise Ausrichtung von Retikel und Wafer zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt das Gerät über ein erweitertes Optikpaket und eine komplette Palette von bildgebenden Optionen vom optischen Mikroskop bis hin zu UV- und SEM-Inspektionssystemen. AXCELIS 150 PC umfasst eine umfassende Palette von Verarbeitungswerkzeugen und Funktionen, einschließlich optischer Wegkorrektur, Bildverbesserung und voll programmierbarer automatisierter Ausrichtungs- und Messwerkzeuge. Eine integrierte Kalibrier- und Verifizierungssuite sorgt für konsistente und wiederholbare Ergebnisse. Die Maschine kommt mit einem revolutionären neuen Steuerungsverfahren für verbesserte Genauigkeit und Durchsatz, so dass der Benutzer Dosis, Timing, Fokus und andere kritische Parameter mit Leichtigkeit und schnell steuern. FUSION 150 PC ist in der Lage, eine maximale Auflösung von 1,5x des herkömmlichen I-Line-Tool zu erreichen, so dass es ultrafeine Schaltungsmerkmale erreichen kann, bei gleichzeitiger Reduzierung der Kosten. Die Anlage ist auch mit fortschrittlichen Diagnosewerkzeugen ausgestattet, die zerstörungsfreie Laserleistungstests ermöglichen und eine genaue, reproduzierbare Messung jedes freiliegenden Retikels und Wafers ermöglichen. Für Bereiche, die Konsistenz erfordern, ist das Modell mit einem erweiterten Überlappungsmuster-Algorithmus konzipiert, der es ermöglicht, Wafer-zu-Retikle-Expositionen mit minimalem Benutzeraufwand und Eingriff anzupassen. AXCELIS 150PC ist eine erstklassige Ausrüstung mit robustem und zuverlässigem Design, ideal für höchste Durchsatzleistungen und Genauigkeit im fortschrittlichen Lithographieverfahren. Seine Kombination aus innovativen Funktionen und fortschrittlichem Steuerungssystem macht es zu einer ausgezeichneten Wahl für jede Halbleiterherstellungsanlage.
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