Gebraucht AXCELIS / FUSION 150PC #9061421 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION 150PC Exposure Equipment ist eine hochentwickelte, automatisierte Lösung für die Verarbeitung von Retikeln und anderen Substraten. Dieses System ist in der Lage, Photoresist, Schichtebene, Metall, Ätz-, Inspektions- und andere Bearbeitungsstufen in einem einzigen Belichtungswerkzeug zu liefern. Es bietet einen beispiellosen Durchsatz, Zuverlässigkeit, Wiederholbarkeit und Prozesskontrolle. Das Gerät basiert auf einem modularen, mehrzonigen Konstruktionskonzept. Dadurch kann die Maschine an die spezifischen Bedürfnisse des Benutzers angepasst werden. Es ist sehr vielseitig einsetzbar und kann sowohl als kostengünstiges Single-Point-Tool als auch als voll ausgestattetes Dual-Point-Asset mit mehreren Belichtungen jeder Substratschicht konfiguriert werden. Das Modell ermöglicht den Betrieb sowohl im Batch- als auch im Inline-Modus, sodass der Benutzer seine Durchsatz- und Prozessvariationen optimieren kann. Das Gerät wird komplett mit allen notwendigen Komponenten geliefert, einschließlich der hochintensiven UV-Quelle, allen Linsen und optischen Komponenten und dem Bildverstärker. Das System ist auf ein hohes Maß an Prozesskontrolle und Wiederholbarkeit ausgelegt. Die Integrated Exposure Control Unit (IECS) erstellt eine virtuelle Schicht innerhalb der Maschinensoftware, die Parameter für jedes Rezept speichern und anpassen kann. Dadurch kann der Anwender die Prozessparameter für jede Schicht präzise steuern und optimieren. Die Maschine verfügt zudem über eine hochmoderne Lithographie-Suite. Die Software dient der Verwaltung und Automatisierung des Lithographieprozesses, von der Vorbereitung und Bearbeitung des Designs bis hin zur Feinabstimmung der Belichtungsparameter. Die Software enthält auch eine Reihe von Überwachungs- und Analysetools, mit denen der Benutzer Prozessbedingungen überwachen und Ergebnisse in Echtzeit analysieren kann. Das Tool bietet auch eine Reihe von erweiterten Mikroskopie-Funktionen. Es kann in Live-Übertragungskameras integriert werden, um hochauflösende Bilder oder 3D-Modelle zu erfassen. Es kann auch mit einer Reihe von Vergrößerungen konfiguriert werden, um die Untersuchung und Analyse von lithographischen Merkmalen zu erleichtern. Schließlich soll das Asset eine außergewöhnliche Automatisierungsleistung bieten. Eine automatisierte Stufentransportfähigkeit ermöglicht eine schnelle Bearbeitung mehrerer Substrate gleichzeitig. Darüber hinaus ermöglichen die intuitive Benutzeroberfläche und die robuste Robotik des Modells eine einfache Bedienung, wodurch die Bedienung der Geräte schneller und einfacher wird. Insgesamt ist FUSION 150PC Exposure System eine hochentwickelte, facettenreiche Lösung, die höchste Genauigkeit und Zuverlässigkeit für die Verarbeitung von Retikeln und anderen Substraten bietet. Das Gerät bietet maximale Leistung, Skalierbarkeit, Automatisierung und Prozesssteuerung. Mit seiner hochgradig anpassungsfähigen und flexiblen Architektur ist es die ideale Lösung für jeden lithographischen Prozess.