Gebraucht AXCELIS / FUSION 150PC #9302854 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION 150PC ist eine Belichtungsanlage, die für photolithographische Verfahren zur Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es wird von FUSION Technologies entwickelt, einem führenden Unternehmen im Bereich fortschrittlicher Prozesslösungen. Das System verwendet einen variablen Strahl- (VSB) Mustergenerator, der fokussierte, präzise Flecken hochenergetischer UV-Strahlung erzeugt, um die gewünschten Muster auf Photomasken zu belichten. Das Gerät ist aufgrund seiner hohen Auflösung, seines großen Sichtfelds und seiner mehrschichtigen Luftbildfunktionen in der Lage, eine hohe Produktivität zu erzielen. FUSION 150PC hat eine Quellleistung von bis zu 150 Watt und bietet eine optimierte Projektionsoptik zur Steuerung von Strahlgröße und -form. Sie besteht aus einem VSB-Mustergenerator, einer Abbildungslinse und einer entsprechenden Stromversorgung. Das bildgebende Objektiv ist mit mehrstufiger Telezentrizität ausgelegt, was eine maximale bildgebende Präzision ermöglicht. Die skalierbare, selbstausrichtende Fokussiermaschine verwendet ein optisches Sieben-Elemente-Galiläisches Werkzeug und eine automatisierte Fokussteuerung, um die Wiederholbarkeit des Submikron-Niveaus zu erreichen. Seine hochpräzise Strahlpositionierung ermöglicht eine stabile, schnelle Ausrichtung des VSB-Mustergenerators und der bildgebenden Linse, um Fehlerfreiheit zu gewährleisten. AXCELIS 150 PC hat eine hohe Auflösung von 0,7 µm und kann überlegene Bilder mit einem großen Dynamikbereich erzeugen. Sein großes Sichtfeld bietet außergewöhnliche Bildgebungsfunktionen für verschiedene Maskengrößen und verschiedene Schaltungsmuster. Das Modell unterstützt auch die mehrschichtige Luftbildgebung und ermöglicht die Herstellung komplexer 3D-Strukturen mit hohem Durchsatz. Seine automatische Mustererkennung ermöglicht eine hohe Genauigkeit des Mustererkennungsprozesses. Das Gerät ist mit einem hochpräzisen Ausrichtsystem ausgestattet, das die Positionsgenauigkeit des Maskentisches mit einer Genauigkeit von 5um steuern und erfassen kann. Das Gerät verfügt auch über erweiterte Sicherheitsfunktionen wie Stromabschaltung und Sicherheitsverriegelung. Darüber hinaus sind seine optischen Komponenten mit automatischer Kalibrierung integriert, was die Anzahl der manuellen Einstellungen reduziert. Insgesamt ist FUSION 150 PC eine überlegene UV-Belichtungsmaschine, die für Photolithographie-Prozesse entwickelt wurde. Es ist in der Lage, maximale Auflösung und hohen Durchsatz aufgrund seiner Präzision Strahlformung Werkzeug, weites Sichtfeld, und Multi-Layer-Luftbild-Fähigkeiten. Als hochmoderne Photolithographie-Maschine ist AXCELIS 150PC eine ideale Wahl für die Herstellung von Halbleiterbauelementen.