Gebraucht AXCELIS / FUSION 200 ACU #9191126 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION 200 ACU ist ein fortschrittliches, automatisches Belichtungsgerät, das entwickelt wurde, um eine präzise, wiederholbare lithographische Steuerung von Einzelsubstrat, Mehrfachsubstrat und hochkomplexen Substraten bereitzustellen. Die ACU, die für die anspruchsvollsten photolithographischen Anwendungen entwickelt wurde, kann die Belichtung einer Vielzahl von Substraten und Merkmalen, einschließlich mehrerer Substrate, mit hoher Wiederholbarkeit anwenden, steuern und überwachen. Das System bietet eine optimale Benutzererfahrung und robuste, leistungsstarke Funktionen zur Optimierung des lithografischen Prozesses. Das optimierte optische und mechanische Design der ACU ermöglicht den Einsatz langlebiger, brennreduzierter Beleuchtungen, die einfach und kostengünstig gewartet werden können. Eine effiziente Quarzhalogenlampe liefert reproduzierbare Belichtungen bei hohen und niedrigen Beleuchtungen, während eine einstellbare Waferstufe das Gerät während einer Belichtung schnell Substrate und Beleuchtungen wechseln lässt. Darüber hinaus ermöglicht eine fortschrittliche, einstellbare Verschlusskontrolle eine genaue Verschlussbetätigung und Positionierung sowie eine überlegene Verschlusskalibrierung. Die ACU besteht aus einem Großrechner und Steuergerät und einem Belichtungskopf. Das Mainframe besteht aus digitalen Displays und Steuerelementen, einschließlich Wähleinstellungen für die Blendensteuerung und Blendeneinstellungen. Die Steuereinheit besteht aus einer Kopfsteuerung, digitalen Waferauslesungen und Motorsteuerungstechnik. Der Mainframe führt fortschrittliche Software und erweiterte Hardwareverbesserungen durch und bietet die Möglichkeit, bis zu 8 Belichtungsprogramme zu speichern. Mit einer intuitiven Benutzeroberfläche lässt sich die ACU problemlos in eine Vielzahl von Umgebungsdesigns integrieren. Ein umfangreicher Satz von Objektiven, Prismen und Spiegeln stehen zur Verfügung, um den Verschluss, die Projektionsoptik und den Belichtungskopf an die Lithographieanforderungen anzupassen. Darüber hinaus ermöglicht eine automatisierte, integrierte Echtzeit-Diagnosemaschine eine Leistungsüberwachung und -anpassung, die Ausfallzeiten verhindert und Kosten im Zusammenhang mit Installation, Neukalibrierung und Neukalibrierung minimiert. Die ACU bietet Anwendern ein sauberes, wartungsarmes Design und eine Vielzahl von Umgebungssteuerungen, wie Temperatur-Feuchtigkeit-Regelung, elektromagnetische Störungen (EMI) Abschirmung und belüftete Gehäuse. Das Werkzeug entspricht auch den FDA-genehmigten Sicherheitsmaßnahmen für die Halbleiter- und Photolithographie-Industrie. Abschließend ist FUSION 200 ACU eine fortschrittliche, voll ausgestattete Anlage, die eine präzise und wiederholbare lithographische Kontrolle komplizierter Substrate ermöglicht. Es verfügt über ein sauberes, wartungsarmes Design, eine automatisierte Diagnose und eine breite Palette optischer und mechanischer Merkmale. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und der benutzerfreundlichen Oberfläche ist die ACU ideal für Anwendungen, die höhere Genauigkeit und Wiederholbarkeit erfordern.