Gebraucht AXCELIS / FUSION 200 ACU #9225547 zu verkaufen

AXCELIS / FUSION 200 ACU
ID: 9225547
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Asher, 8" 1996 vintage.
AXCELIS/FUSION 200 ACU ist ein fortschrittliches Belichtungsgerät mit Präzisionsoptik und einer Vielzahl von Optionen zur Erzielung hochauflösender Ergebnisse. Es ist sowohl für kommerzielle als auch für industrielle Anwendungen konzipiert. FUSION 200 ACU verwendet ein automatisiertes Fokussystem zur präzisen Steuerung und Abbildung von Waferoberflächen. Es verfügt über eine variable Geschwindigkeit, hochpräzise Steuereinheit, die eine fein abgestimmte Steuerung der Belichtungsparameter ermöglicht. Die Belichtungsmaschine verwendet eine Luftlagerkonstruktion, die eine stabile und präzise Bewegung in alle Richtungen ermöglicht. AXCELIS 200ACU ist mit einer variablen Aperturblende und Kollimatoröffnung ausgestattet, die zusammen eine hohe Qualität der Strahlgleichförmigkeit und Belichtungsgleichförmigkeit auf der Waferoberfläche bieten. Das Werkzeug verfügt auch über einstellbare Säulenpositionierung und -winkel sowie drei einstellbare Achsen (X, Y und Z). Das Asset verfügt über einen automatisierten Prozessor, der die Belichtungs- und Expositionsparameter steuert. Dies ermöglicht eine einfache Programmierung und schnelle Belichtung von Wafern. Das automatisierte Belichtungsmodell umfasst auch die Aufzeichnung von Belichtungsprofilen und die Speicherung von Belichtungsdaten, was qualitativ hochwertige Ergebnisse und Wiederholbarkeit von Belichtungsparametern über mehrere Belichtungsläufe ermöglicht. 200ACU ist auch mit speziellen Optionen für schwer exponierbare Masken und andere spezielle Anwendungen ausgestattet. Die Ausrüstung ist in der Lage, Kontakt, Nähe und Trockenbelastung, so dass es für eine Vielzahl von Wafer Herstellungsprozesse geeignet. AXCELIS 200 ACU ist extrem präzise mit einer hochkonsistenten Belichtungsgleichförmigkeit über alle Bereiche des Belichtungsfeldes. Es ist kompakt und einfach einzurichten, und seine automatisierten Funktionen ermöglichen es, schnell und effektiv für eine Vielzahl von Anwendungen vorbereitet werden. Die automatisierten Funktionen und die einfache Programmierung ermöglichen zudem eine Minimierung der Belichtungszeit und Maximierung der Belichtungspräzision. 200 ACU ist ein fortschrittliches Belichtungssystem, das hochauflösende Ergebnisse, präzise Steuerung und eine breite Palette von Optionen für verschiedene Anwendungen liefert. Die automatisierten Funktionen und die einfache Programmierung machen es ideal für eine Vielzahl von Wafer-Fertigungsprozessen.
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