Gebraucht AXCELIS / FUSION 200 ACU #9225549 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION 200 ACU ist ein voll ausgestattetes hochentwickeltes Belichtungssystem für hohen Durchsatz, kostengünstige und unübertroffene Auflösung in der Halbleiterlithographie. Die Kombination bewährter Lithographie- und Prozessautomatisierungsfunktionen bietet Herstellern die erforderlichen Kosteneinsparungen und eine bessere praktische Implementierung fortschrittlicher Prozessknoten. Die Maschine bietet dank ihrer präzisionskalibrierten Ausrichtungsstufe und integrierten Registrierungsmarkenerkennungssystemen eine fortschrittliche Overlay-Genauigkeit und Registrierungsgleichmäßigkeit. Seine TwinScan Twinscan 5x ST Micro-Stepper basierte Wafer-Bühne ermöglicht auch eine erweiterte Sichtfeld und übermäßige Verarbeitung von großen Wafern bis 200 mm Durchmesser. Die Beleuchtung On-Axis I-line Lighting der ACU bietet eine verbesserte Prozessgleichförmigkeit und Gleichmäßigkeit der Netze, um Projekte zu optimieren. Sein Festkörperbeleuchtungswerkzeug verbessert die Produktleistung und die lithographische Prozesskontrolle. Darüber hinaus ermöglichen die variablen Prepulse-Funktionen eine fokussiertere Balance der Dotierungsdichten und eine bessere Kontrolle über Linien- und Platzbreiten für fortgeschrittenere Prozessknoten. Die Anlage bietet auch umfangreiche optionale Hardwarekomponenten wie eine motorisierte Fokuseinheit, ein Abstandsmessmodell, ein Flüssigkeitsfotoresist-Höhenmessgerät und ein direktes Laserinterferometriesystem. Die Skalierbarkeit dieser peripheren Lösungen bietet Lithographen die Flexibilität, die sie benötigen, um ihren Anforderungen gerecht zu werden. Für verbesserte Qualität und Zuverlässigkeit verfügt FUSION 200 ACU über alle notwendigen Funktionen, einschließlich Multiprojektorfunktionen, In-situ-Prozesssteuerung, integrierte Prozessrezepte, Integration in Fabrikautomatisierungssysteme und Unterstützung für erweiterte oder mehrfache Musterung. Es verfügt auch über eine fortschrittliche Wafer-Erleichterungseinheit und eine integrierte Vakuum-Handhabungsmaschine, die es Benutzern ermöglicht, bearbeitete Wafer mit minimaler Rüstzeit schnell zu bewegen und auszutauschen. AXCELIS 200ACU Tool ist eine vielseitige Lösung, die im Vergleich zu anderen Lösungen auf dem Markt zahlreiche Vorteile bietet. Es ist perfekt für die Integration in neue und bestehende Produktionslinien, seine Architektur fördert die schnelle Umstellung von Produkten und ermöglicht kostensparende Vorteile. Die Anlage ist zudem sehr zuverlässig, bietet hervorragende Ergebnisse und eine konsequente Produktionsprozesskontrolle.