Gebraucht AXCELIS / FUSION 200 ACU #9235767 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION 200 ACU ist ein umfassendes Wafer-Level-Belichtungsgerät, das entwickelt wurde, um wiederholbare und genaue Ergebnisse für eine Reihe fortschrittlicher Geräteanwendungen zu ermöglichen, einschließlich Halbleiter, MEMS, Optoelektronik und fortschrittliche Verpackungsanwendungen. Dieses System verfügt über eine exklusive Beleuchtungseinheit, bestehend aus einer Hochleistungs-Xenon-Lampe, einem fortgeschrittenen Aberrationskorrektor und einer internen Autofeldkorrekturmaschine. Diese Technologie bietet eine hohe Intensität und ein gleichmäßiges Lichtmuster, was eine kürzere Belichtungszeit und verbesserte Geräteausbeuten ermöglicht. Darüber hinaus minimiert ein modernes Korrekturwerkzeug Aberrationen und Verzerrungen des Belichtungsmusters, was die Konsistenz und Genauigkeit der Ergebnisse weiter erhöht. Mit dieser Kombination ist die Exposition auf FUSION 200 ACU in der Lage, mit einer vollständig integrierten Prozesssteuerung eine doppelte Muster- und Overlay-Genauigkeit von 1,0 µm oder weniger zu erreichen. Dieses Asset verfügt auch über eine Reihe integrierter Unterkomponenten und Prozessfähigkeiten. Dazu gehören ein eigenständiges 2-stufiges Mapping-Modul, ein hochgenauer Sub-Micron-Stepper und ein Laser Direct Imaging (LDI) Modul. Mit diesen integrierten Komponenten ist AXCELIS 200ACU in der Lage, eine Vielzahl fortschrittlicher Prozesse wie extreme Ultraviolett (EUV), Deep Ultraviolet (DUV) und fortschrittliche Verpackungsanwendungen in einer einzigen, modularen Lösung zu unterstützen. Darüber hinaus bietet FUSION 200ACU durch seine konfigurierbare Architektur ein hohes Maß an Flexibilität. Dieser modulare Aufbau ermöglicht es, jede Komponente neu zu konfigurieren, um eine Vielzahl von Experimenten und Bedürfnissen der Anwender zu unterstützen. Darüber hinaus ermöglicht das integrierte Netzwerk- und Steuerungsmodell den Fernzugriff und den Betrieb der Geräte und ermöglicht eine einfache Integration in bestehende Labor- oder Fabrikeinstellungen. Um eine optimale Umgebung zu erhalten, verfügt 200 ACU über ein modernes Transfersystem und einen Gaskasten, um sicherzustellen, dass Wafer während des gesamten Expositionsprozesses in einer sicheren und sauberen Umgebung bleiben. Darüber hinaus bietet das sich selbst nivellierende dynamische Vakuumfutter wartungsfreie Operationen und ermöglicht eine höhere Auflösung von Mustern auf kleineren Substraten. Insgesamt ist AXCELIS 200 ACU eine ideale Expositionslösung für Forschungs- und Entwicklungsanwendungen. Seine integrierte Komponenteneinheit, flexible Architektur und robuste Automatisierungsfunktionen garantieren wiederholbare und genaue Ergebnisse für eine Reihe fortschrittlicher Geräteanwendungen.