Gebraucht AXCELIS / FUSION 200 ACU #9399207 zu verkaufen
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AXCELIS/FUSION 200 ACU ist ein automatisiertes Belichtungsgerät zur Bestrahlung von strukturierten Siliziumwafern mit ultraviolettem Licht. Das System nutzt fortschrittliche Technologien wie Laserdiodenarrays, Mustererkennungsoptiken, Positionssensoren und computergesteuerte Bewegungssysteme, um Wafer einer Vielzahl von Anwendungen genau auszusetzen. FUSION 200 ACU verfügt über ein hocheffizientes Laserdioden-Array, das ultraviolettes Licht bei bis zu 1000 Watt emittieren kann, was zu einem höheren Durchsatz als herkömmliche Belichtungssysteme führt. Das Laserdioden-Array basiert auf fortschrittlicher Optik-Technologie und ist selbstkalibrierend, was höhere Genauigkeiten und wiederholte Belichtungsmuster innerhalb eines einzelnen Wafers ermöglicht. Diese Einheit ist auch in der Lage, sich in Polygone, Kreise, Ellipsen, Rechtecke und Sechsecke sowie periodische und nicht-periodische Muster oder Gitter zurückzusetzen. Die automatische Mustererkennung und Präzisionsoptik von AXCELIS 200ACU ermöglicht die Analyse von Exposure-Zone-Quality (EZQ) auf einem Wafer mit der Fähigkeit, strukturierte Wafer in einem Durchgang genau zu erkennen und genau zu belichten. Darüber hinaus setzt 200ACU fortschrittliche Bewegungssysteme ein, die dazu dienen, den Wafer unter dem Laserdiodenarray und zwischen Belichtungsläufen präzise zu bewegen und die Position des Musters auf dem Wafer durch Positionssensoren genau zu validieren. Dadurch wird sichergestellt, dass die Muster exakt belichtet werden, unabhängig von der Mustergröße, Orientierung oder Komplexität. Dieses automatisierte und präzise Belichtungswerkzeug ist in der Lage, eine Vielzahl von Wafern unterzubringen, darunter 3-Zoll, 5-Zoll, 8-Zoll und 12-Zoll-Wafer, und ist benutzerfreundlich und bietet Benutzern die Flexibilität, das Asset auf ihre spezifischen Prozessanforderungen abzustimmen. Mit seinem robusten und zuverlässigen Design ist 200 ACU eine ausgezeichnete Wahl für jeden Produktionsprozess mit gemusterten Siliziumscheiben.
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