Gebraucht AXCELIS / FUSION 200 MCU #9257180 zu verkaufen

ID: 9257180
Wafergröße: 8"
Asher, 8".
AXCELIS/FUSION 200 MCU (Multi-Cavity UVC) ist eine ultrapräzise Photolithographie-Belichtungsanlage zur Herstellung integrierter Schaltungen. Dieses System verwendet eine ultraschnelle Xenon-Blitzlampe mit einer 400-Watt-Bogenlampe für schnelle und genaue Belichtung. Das Gerät verfügt über eine fortschrittliche Optik, die Präzision und Auflösung ermöglicht und die Genauigkeit und Reduzierung der Linienbreite maximiert. Die dichroitischen Spiegel, Kondensationslinsen und Filter werden alle aus hochentwickelten Materialien und höchsten Qualitätsstandards hergestellt. FUSION 200 MCU Belichtungsmaschine hat eine einzigartige Eigenschaft, die eine extrem schnelle Belichtungszeit von 1ms pro Belichtung ist, die eine ultrafeine Auflösung und einen besseren Durchsatz ermöglicht. Es verfügt über eine schnelle, hochpräzise Schritt- und Wiederholungsoperation mit automatisierter Ausrichtung und Registrierung. Das Tool ist mit einer intuitiven Benutzeroberfläche entworfen, um eine einfache Navigation und Bedienung des Geräts zu ermöglichen, was AXCELIS 200 MCU äußerst benutzerfreundlich und ergonomisch macht. Die Schnittstelle umfasst auch Rezeptverwaltungsfunktionen, die umfassende Workflow-Funktionen bieten. Das Modell verwendet auch einen Robotermotor zum Laden von Wafern und Substraten auf die Belichtungsgeräte und eine Hardware-Schicht zur genauen Positionierung und Ausrichtung von Masken und Substraten. 200 MCU bietet wiederholbare Belichtungsgenauigkeit und nutzt die neueste Entwicklung in Strahlteilern, Ultrahochvakuum, Ultratiefviskosität und kontrastarmen Reglern. Es hat auch einen hochauflösenden Film-Aligner für die vollständige Chip-Ausrichtung mit weniger Maskenmarken. Das System verfügt außerdem über eine automatisierte Kantenwulstmesseinheit zur Reduzierung der Entwicklungszeit und eine umfassende Reihe von Softwarepaketen wie CAD und Batch-Modus, um die gesamte Palette an schematischen, Layout- und Belichtungssteuerungsfunktionen bereitzustellen. AXCELIS/FUSION 200 MCU kann auch in Verbindung mit Laser-Scribing-Geräten zum genauen Ätzen verwendet werden. Alles in allem ist FUSION 200 MCU eine extrem zuverlässige und fortschrittliche Belichtungsmaschine, die sich durch höchste Präzision und Genauigkeit auszeichnet und es Herstellern ermöglicht, qualitativ hochwertige integrierte Schaltungsprodukte zu liefern.
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