Gebraucht AXCELIS / FUSION 200 PC #9157616 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION 200 PC ist ein fortschrittliches Belichtungsgerät für fortschrittliche Halbleiterprozesse. Das System bietet überlegene Leistung in Form eines größeren Arbeitsfelds, höherer Auflösung und überlegener Belichtungssteuerung. Es ist in der Lage, Substrate bis zu 200mm Größe mit fortschrittlicher Verschlusskontrolle und Ausrichtungspräzision zu belichten. Das Gerät verfügt über hochauflösende Abbildungsoptiken für überlegene Musterfähigkeit auf Substraten. Es kann eine breite Palette von Substraten handhaben, die eine präzise Belichtung erfordern, einschließlich bis zu 200mm Fotolack, Glas oder anderen hochtransparenten Materialien. Der einzigartige Auto Focus-Algorithmus der Maschine ermöglicht eine automatisierte, on-the-fly-Anpassung von Fokus und Auflösung, um optimale, wiederholbare Funktionen auf dem belichteten Wafer zu gewährleisten. Das Tool wird durch mehrere hochmoderne Funktionen ergänzt, die eine optimale Leistung und Effizienz gewährleisten. Das Gerät verfügt über ein leistungsstarkes Wafer-Handhabungsmodell, das eine automatische Waferausrichtung und -einstellung hat, um den Wafer in der Belichtungskammer genau zu positionieren. Es verfügt auch über eine integrierte, geschlossene Verschlussausrüstung, die ein konsistentes Öffnen und Schließen der Belichtung sowie eine präzise Verschlusssteuerung gewährleistet. Darüber hinaus sorgt ein einzigartiges Platzierungssystem für die Form-zu-Form-Muster für eine genaue Ausrichtung zwischen mehreren Formmustern auf dem Wafer. Das Gerät verfügt zudem über eine maximale UV-Belichtungszeit von 8 Sekunden. Dies erhöht den Durchsatz und die Produktivität und reduziert gleichzeitig Fehler im Zusammenhang mit Überbelichtungen. Es verfügt auch über benutzerfreundliche Ionenpumpen, die automatisch die Pumpendrehzahl optimieren und die UV-Lichtverteilung optimieren. Die Belichtungsmaschine ist weiter mit einem integrierten Schutzglas geschützt, das einen sicheren und konsistenten Betrieb gewährleistet. FUSION 200 PC bietet auch erweiterte Funktionen wie Laserausrichtungsfähigkeit, so dass Ausrichtungsaufgaben, wie die Ausrichtung der Matrize und die Vorbelichtungsplasmareinigung, fliegend erledigt werden können. Darüber hinaus wird das Tool von modernster Software zur Prozesssteuerung unterstützt, einschließlich E-Beam oder Stepper Belichtungssteuerungssoftware, sowie digitaler I/O-Steuerungssoftware. Zur weiteren Zuverlässigkeit und Sicherheit gehören schließlich die Sicherheitsüberwachung auf Hard- und Softwareebene mit speziellen Sicherheitsschaltern und Hardware-Schlössern. Dadurch wird sichergestellt, dass das Modell nach internationalen Sicherheitsstandards betrieben wird. AXCELIS 200 PC ist daher eine ideale Ausrüstung für fortschrittliche Photolithographie- und Verpackungsprozesse.