Gebraucht AXCELIS / FUSION 200 PC #9250798 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION 200 PC ist eine automatisierte Lithographie-Belichtungsanlage, die entwickelt wurde, um zuverlässige Halbleiterherstellungsmöglichkeiten mit flexiblem Setup und Betrieb bereitzustellen. Das System hat eine Dualkammer-Konstruktion, mit zwei unabhängigen Prozesskammern innerhalb einer einzigen Einheit, einer für die Entwicklung von Resist und einer für die Freilegung und Strukturierung des Resists. Dieses Merkmal ermöglicht einen hohen Durchsatz der Photolack- und Substratverarbeitung, ohne dabei die Gleichmäßigkeit oder Genauigkeit des Prozesses zu beeinträchtigen. Die Doppelkammerdesign hat auch den zusätzlichen Vorteil der Reduzierung Kreuzkontaminationsrisiko durch die Verhinderung der Übertragung von chemischen Schadstoffen oder anderen Verunreinigungen von einer Kammer in die andere. FUSION 200 PC ist in der Lage, eine Vielzahl von Prozessschritten durchzuführen, einschließlich Spincoat, backen, ausrichten, exponieren, nach der Exposition backen, entwickeln und spülen. Das Gerät verfügt auch über eine fortschrittliche automatisierte Ausrichtungstechnologie, die Optik verwendet, um Muster auf Substraten zu positionieren und abzubilden. Diese Technologie verbessert Auflösung und Genauigkeit und reduziert gleichzeitig die Benutzereingabezeit drastisch. Darüber hinaus verfügt AXCELIS 200 PC über computergestützte Wafer-Handhabungsfunktionen, die eine präzise Übertragung von Substraten und eine präzise Positionierung auf der Bearbeitungsstufe des Substrats ermöglichen und die Übertragungszeit verkürzen. 200 PC verfügt über ein reproduzierbares Bildkammer-Kamera-Tool sowie einen eingebauten Viewing-Port, der die Ausrichtung von Substraten und kritische Musterung erleichtert. Die Anlage verfügt über einen modularen Aufbau und ein ergonomisches Design, um den Benutzerzugang und die Mobilität zu verbessern und gleichzeitig die Wartungsfreundlichkeit zu verbessern. AXCELIS/FUSION 200 PC verfügt über ein benutzerfreundliches On-Board Process Control Model (OPCS), das eine nahtlose Integration und vollständige Integration von Prozesssteuerungen ermöglicht. Das OPCS wurde entwickelt, um Prozessparameter zu überwachen und Benutzereingriffe während des Systembetriebs zu minimieren. FUSION 200 PC ist in der Lage, kleine Teile zu betreiben, was insgesamt eine erhöhte Up-Time der Einheit ermöglicht. Die Maschine bietet auch Wiederholbarkeit und hohen Durchsatz für einzelne Wafer. Darüber hinaus reduziert die automatisierte Substrathandhabungstechnologie die manuelle Rüstzeit bei gleichzeitiger Optimierung der Werkzeugausbeute. Die Anlage eignet sich sowohl für Prototyp- als auch für Kleinserienanwendungen.