Gebraucht AXCELIS / FUSION 200 PCU Polo #9196916 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION 200 PCU Polo ist ein fortschrittliches Belichtungsgerät, das für präzise und wiederholbare Belichtungen für anspruchsvolle Photomaskenproduktion entwickelt wurde. Diese Plattform ist ideal für 5X und 6X Belichtungsanwendungen. Der Polo ist ein automatisiertes Gleissystem mit hochauflösender Messtechnik und Substrathandhabung, was zu einer überlegenen Ertragsleistung führt. Das Gerät ist mit einer patentierten, hochmodernen, massenstromgesteuerten (MFC) feuchtigkeitsfreien Trockenlufttechnologie ausgestattet, die präzise und wiederholbare Dosen für kritische Wiederholbelichtungsanwendungen liefert. Die MFC-Technologie ist in der Lage, Expositionsdosen innerhalb von 0,8% zu reproduzieren. Die Maschine verfügt über eine fortschrittliche Substrathandhabung, einschließlich automatischer Lade-, Platzierungs- und Orientierungssteuerungen. Das Werkzeug umfasst auch eine automatisierte Rückseitenausrichtung und eine Metallausrichtungsüberwachung. Die Plattform kann Substrate bis zu einer Größe von 200 mm verarbeiten und mit Substraten bis zu einer Dicke von 1,5 mm umgehen. Die fortschrittliche optomechanische Anlage bietet eine hervorragende optische Leistung. Das optische Modell verwendet eine hochleistungsfähige beugungskorrigierte Belichtungslinse, kombiniert mit einer automatisierten Ausrichtungseinrichtung. Das fortschrittliche Belichtungssystem wurde entwickelt, um eine optimale Expositionsgleichförmigkeit von bis zu 4 µm zu gewährleisten, kombiniert mit einer geringen linearen Verzerrung von 0,1 µm/mm. FUSION 200PCU POLO ist mit einer benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche (GUI) konzipiert, die eine schnelle Einrichtung und präzise Wiederholbarkeit der Belichtungsparameter ermöglicht. Das Gerät verfügt über bedienerfreundliche Bedienelemente mit umfangreichen Prozess- und Substratdatensammelmöglichkeiten. Diese Daten werden verwendet, um präzise und wiederholbare Expositionen zu gewährleisten. AXCELIS 200 PCU/POLO ist eine fortschrittliche Belichtungsmaschine, die präzise und wiederholbare Belichtungen für anspruchsvolle Photomaskenproduktion bietet. Mit seiner bewährten optischen Leistung, dem MFC-Steuerwerkzeug und der automatisierten Substrathandhabung kann das Asset überlegene Erträge und präzise wiederholbare Dosen liefern. Die benutzerfreundliche GUI des Modells sorgt für eine einfache Einrichtung und präzise Prozesssteuerung.