Gebraucht AXCELIS / FUSION 200 PCU #9016214 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION 200 PCU ist ein leistungsstarkes Belichtungssystem, das modernste lithografische Prozesse und Fähigkeiten bietet. Es bietet eine breite Palette von Funktionen, so dass Benutzer eine Vielzahl von Substraten in einer Vielzahl von verschiedenen Formaten genau mustern können. FUSION 200 PCU Belichtungseinheit arbeitet mit Deep-Ultraviolet (DUV) Belichtungsquelle, gekoppelt mit einem fortschrittlichen Target Renovation Retarder (TRR) und Spitzenoptik. Die robuste Luftlagermaschine sorgt für eine genaue und wiederholbare Bewegung und ermöglicht eine präzise Überlagerung und Musterplatzierung. Darüber hinaus verfügt AXCELIS 200PCU über ein hochmodernes Werkzeug zur Überarbeitung von Wafern mit niedriger Beanspruchung und eine optische Überwachung vor Ort, die eine nahezu echtzeitnahe Datenüberwachung ermöglicht. Dadurch wird die Belichtungszeit reduziert und höhere Ausbeuten und Ausbeute verbessert. FUSION 200PCU verfügt über die Fähigkeit, eine Vielzahl von Bilderzeugungsvorgängen durchzuführen, wie z. B. Etchback und variabel geformte Belichtung, was zu hervorragenden Erträgen und einer verbesserten Genauigkeit der Merkmale führt. Darüber hinaus bietet das Modell branchenführende Overlay-Genauigkeit, sodass mehrere Belichtungsgitter in einem Arbeitsschritt strukturiert werden können. Das mitgelieferte Werkzeug zur automatischen Ausrichtung ist mit einer Vielzahl von Bildformaten kompatibel und erleichtert die Einrichtung und Ausführung. AXCELIS/FUSION 200PCU unterstützt im Hinblick auf seine Resist-Verarbeitungsfunktionen die Mittel- und Hochätzselektivität, so dass Benutzer Tonhöhen von etwa 0,6 Mikrometer freilegen können. Das Gerät enthält auch erweiterte Resistbewertungsfunktionen, die eine genaue Charakterisierung der Photolackeigenschaften ermöglichen. Das PCU-System AXCELIS 200 ist mit den gängigsten CAD-Programmen und Prozessplattformen kompatibel, sodass die Integration in bestehende Setups einfach ist und Anwendern mehr Produktivität und betriebliche Flexibilität bietet. Darüber hinaus kann das Gerät mit einer Vielzahl von Zubehör wie Sensoren und Optik ausgestattet werden, was eine weitere Anpassung an die Bedürfnisse ermöglicht. Insgesamt ist 200 PCU eine leistungsstarke und effiziente Belichtungsmaschine mit einer breiten Palette von Fähigkeiten und Funktionen, die es Anwendern ermöglichen, hervorragende Erträge und verbesserte Funktionsgenauigkeit zu erzielen. Es eignet sich für eine Vielzahl von Substrat- und Schichttypen, so dass es eine ausgezeichnete lithographische Lösung für eine Reihe von Anwendungen.