Gebraucht AXCELIS / FUSION 200 PCU #9038084 zu verkaufen
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ID: 9038084
Wafergröße: 8"
UV Photo stabilizer, 8"
Chamber / Bake
3 Axis robots
SMIF.
AXCELIS/FUSION 200 PCU (Process Control Unit) ist ein hochentwickeltes, voll programmierbares, energiesparendes Belichtungsgerät, das speziell für die Herstellung von fortschrittlichen Halbleitern und anderen elektronischen Komponenten entwickelt wurde. Es verfügt über eine modernste Prozessmodellierungs-, Steuerungs-, Optimierungs- und Verifizierungstechnologie, die eine maximale Prozesskontrolle und konsistente, wiederholbare Ergebnisse bietet. FUSION 200 PCU verwendet eine mehrstufige Prozessarchitektur, bestehend aus Photolackmodellierung, Prozesssteuerung, Maschinensteuerung und Leistungsüberprüfung. Dies ermöglicht eine maximale Kontrolle der Prozessvariablen und der Systemleistung und ermöglicht höchste Prozesssteuerung und Wiederholbarkeit. Es wurde mit einer ergonomischen Workstation entwickelt, die einen einfachen Zugriff auf alle wichtigen Komponenten der Einheit ermöglicht, einschließlich des Mainframe-Prozessors, eines großen Flachbildschirms und Peripheriegeräten. Das Display ist benutzerfreundlich und liefert Echtzeitinformationen zu Prozessparametern und Daten. Die einzigartige Prozesssteuerungstechnologie von AXCELIS 200PCU ermöglicht eine präzise Steuerung und Optimierung einer Vielzahl von Prozessparametern, wie Strahlleistung, Dosisrate, Strahlprofilierung und Auflösung. Dies führt zu scharfen Abbildungen, wiederholbaren Ergebnissen und der Fähigkeit, die gewünschte Konstruktionsleistung anzupassen. Die Technologie der Leistungsüberprüfung bietet eine fortschrittliche Qualitätssicherung, indem sie die Überwachung der Maschinenleistung und der Prozessrezepte ermöglicht und gleichzeitig sofortiges Feedback mit Echtzeitanalysen bereitstellt. Dies ist besonders vorteilhaft bei der Überprüfung der Feinlinienherstellung von Submikrongeräten. AXCELIS/FUSION 200PCU verfügt zudem über eine umfassende Bibliothek mit Rezepten der Photomasken-Bibliothek, die die Verwaltung und Optimierung von Belichtungen vereinfacht, sowie eine umfassende Bibliothek von Prozessrezepten, die die Automatisierung mehrerer Prozesse ermöglicht. Mit seiner umfassenden Funktionalität ist 200PCU eine ideale Lösung für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiter- und anderer elektronischer Bauelemente.
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