Gebraucht AXCELIS / FUSION 200 PCU #9106832 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION 200 PCU ist eine Expositionsanlage, die für den Einsatz in Industrie und Labor konzipiert ist. Dieses System bietet eine hochpräzise, benutzerfreundliche Belichtungssteuerung für eine Vielzahl von Materialien und Prozessbedingungen. Das Gerät besteht aus einem Strahllieferschrank und einer Prozesskammer mit zwei integrierten Softwareprogrammen, um effiziente, genaue und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Der Strahlabgabeschrank enthält einen Satz Linsen und Spiegel, die die Abgabe des Elektronenstrahls an die Prozesskammer steuern. Der Strahlengang ist über die Steuerknöpfe an der Vorderseite des Gehäuses einstellbar, um die Strahllenkung präzise zu manipulieren. Dadurch kann der Strahl genau fokussiert und auf das Zielmaterial gerichtet werden. Die Prozesskammer ist eine Vakuumkammer, mit der die ideale Substratumgebung für den zu belichtenden Elektronenstrahl geschaffen wird. Spezielle UHV-Flansche werden an der Ober- und Unterseite der Kammer befestigt, um eine saubere und trockene Umgebung zu gewährleisten. Es enthält auch eine isolierte Kammer zur Substratheizung und -kühlung, die eine präzise Anpassung der Temperatur und Umgebung innerhalb der Kammer ermöglicht. Außerdem sorgen Gaseinlaß- und -entlüftungslöcher für sauberes Einlaßgas und schaffen eine sichere Entlüftungsmaschine für potenziell gefährliche Partikel während des Betriebs. Die PCU-Software FUSION 200 bietet dem Anwender leistungsstarke, benutzerfreundliche Tools zur Steuerung der Belichtungsprozesse. Es ermöglicht Benutzern, Parameter wie Strahlstrom, Substrattemperatur, Druck und mehr schnell und einfach zu konfigurieren. Die Bibliothek mit vordefinierten Rezepten ermöglicht das schnelle Erstellen und Speichern von Sollwerten, was die Wiederholung von Prozessen erleichtert. Die Software enthält auch automatische Fehlererkennungs- und -behebungsmodule, die den Benutzer auf etwaige Auffälligkeiten während des Belichtungsprozesses aufmerksam machen und ihn zur schnellen Behebung führen. Dies gewährleistet eine höhere Genauigkeit und Wiederholbarkeit des Belichtungsprozesses. Insgesamt ist AXCELIS 200PCU ein leistungsfähiges, zuverlässiges Werkzeug, um eine genaue und präzise Belichtung verschiedener Materialien zu erreichen. Die Kombination aus Strahllieferschrank, Prozesskammer und benutzerfreundlicher Software macht es zu einer idealen Wahl für Industrie- und Laboreinstellungen.