Gebraucht AXCELIS / FUSION 200 PCU #9182824 zu verkaufen

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AXCELIS / FUSION 200 PCU
Verkauft
ID: 9182824
Weinlese: 2001
Microlite photostabilizer Software version: Ver 3.27 Process: Fusion bake CIM: Linked SMIF System: No Handler system: No Process chamber: No Wafer handler: (2) Platform with wafer tower sensor, 8" (3) Axes robot assembly (1) Operator interface: LCD Panel Process chamber: Thermochuck with lifter pin assembly Irradiator unit Accessories: High voltage power supply box 208V 2001 vintage.
AXCELIS/FUSION 200 PCU ist eine fortschrittliche Belichtungsanlage zur Beschleunigung der Entwicklung und Produktion von Geräten in einer Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Das System besteht aus einem Röntgengengenerator, einer Abbildungskamera, einem Satz von Detektoren und Datenerfassungselektronik sowie einer Vielzahl weiterer Teilkomponenten. Der Röntgengenerzeuger erzeugt einen energiereichen Elektronenstrahl, der auf das zu belichtende Material gerichtet ist. Der elec tron Strahl wird dann durch eine Reihe von Lithographiemasken geführt, die jeweils ein Muster von Merkmalen enthalten, die auf das Substratmaterial aufgedruckt werden sollen. Die Bildkamera erfasst die resultierenden belichteten Muster und speichert sie als digitale Bilder. Die Detektoren messen die Belichtungspegel des beleuchteten Materials, während die Datenerfassungselektronik diese Pegel aufzeichnet und speichert. Diese Daten werden dann von der Einheit verwendet, um Belichtungsprofile zu erzeugen, die zur Optimierung von Belichtungseinstellungen oder zur Steuerung von Prozessparametern verwendet werden können. FUSION 200 PCU ist in der Lage, eine Reihe von Prozessparametern zu unterstützen, so dass es in der Lage ist, hochdetaillierte Bilder mit einer guten Belichtungssteuerung zu erzeugen. Die Maschine kann verwendet werden, um mehrere Belichtungen von verschiedenen Substraten und Materialien zu nehmen, so dass Designer Muster mit einer Reihe von Merkmalsgrößen produzieren können. Dies kann die Herstellung von winzigen, empfindlichen Merkmalen wie Kontaktfenstern auf einem Substrat erleichtern. Das Werkzeug hat auch eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie die automatische Überwachung der Expositionsgrenzwerte, die Arbeitern und der Umwelt Schutz bieten kann. Darüber hinaus verfügt das Asset über eine Ethernet-fähige digitale Kommunikation, die Remote-Zugriff und Integration mit anderen Systemen ermöglicht. AXCELIS 200PCU ist ein zuverlässiges und hocheffizientes Belichtungsmodell, das sich für hochgenaue Lithographieanwendungen in einer Vielzahl von industriellen und akademischen Umgebungen eignet. Mit seiner leistungsstarken Bildkamera und der Palette von Parametern bietet die Ausrüstung ein großartiges Werkzeug für die Studie, Entwicklung und Produktion einer Vielzahl von Geräten.
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