Gebraucht AXCELIS / FUSION 200 PCU #9194479 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION 200 PCU (Personal Computer Unit) ist eine Belichtungsanlage für verschiedene Lithographieoperationen. Es wird für Belichtungssteuerung, Ätz-/Entwicklungssteuerung und Maskenausrichter verwendet. Die PCU ist ein eigenständiges System, das mit vielen Lithographie-Geräten und Komponenten verbunden ist. Das Gerät besteht aus mehreren Komponenten, darunter einer Workstation, einem Controller, einem Netzteil, einem Mainframe und einem Softwarepaket. Die Workstation dient als Benutzeroberfläche und der Controller ist für die Prozesssteuerung verantwortlich. Das Netzteil liefert den Strom für die Maschine und der Großrechner beherbergt alle Schaltkreise des Werkzeugs. Das Softwarepaket bietet Benutzern eine Plattform, um Parameter einzugeben, Befehle auszuführen und Berichte zu empfangen. FUSION 200 PCU verfügt über ein farbiges Touchscreen-Display, ein 5 "hochauflösendes Display und eine Multitastatur für eine einfache Dateneingabe. Es verfügt auch über eine große Datenbank zum Speichern von bis zu 10.000 Masken und Ausrichtungsdaten. Das Asset unterstützt auch mehrere Kommunikationsprotokolle, die vom Benutzer angepasst werden können. Dieses Modell ist in der Lage, Belichtungsparameter wie Belichtungszeit, Beleuchtungsmuster, Fokus, Dunkelbelichtung, Polarisation und Belichtungskorrektur bereitzustellen. Es hat eine ultraschnelle Reaktionszeit und kann mehrere Waferbelichtungen gleichzeitig steuern. Das Gerät bietet auch eine erweiterte Suchfunktion für Maskendatenbanken, mit der Maskensätze abgerufen werden können, die spezifischen Anforderungen entsprechen. Es ist auch in der Lage, interne Prozessparameter zu überwachen und kann auf externe Systeme erweitert werden. Das System verfügt über eine Vielzahl von Diagnosetools, die die Verwaltung der Leistung und Ausrichtung der Einheit unterstützen. Es kann bis zu 10.000 zu überwachende Parameter speichern, einschließlich Fokusfehler, Belichtungszeitpunkt, Polarisation, Kalibrierung und Temperatur. Es verfügt außerdem über eine automatische Fokus-Kalibrierung, die sicherstellt, dass die Maschine immer bei ihrer besten Leistung ist. AXCELIS 200PCU ist ein leistungsstarkes Belichtungswerkzeug, das Anwendern bei der Ausführung mehrerer Lithographieoperationen hilft. Es verfügt über eine Vielzahl von Funktionen, von einem Touchscreen-Display bis zu einer umfassenden Datenbank, die es zu einer idealen Lösung für fortgeschrittene Belichtungsanforderungen macht.