Gebraucht AXCELIS / FUSION 200 PCU #9231978 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION 200 PCU ist ein Belichtungsgerät für den Einsatz in der Halbleiterverarbeitung. Es ist ein Hochleistungssystem, das für eine Vielzahl von Herstellungsverfahren eingesetzt werden kann, einschließlich hochauflösender Lithographie, Photolackstreifen, Aktivierung und Ätzen, Diffusion, chemisch-mechanische Planarisierung und Messtechnik. Das Gerät bietet vielseitige Programmierbarkeit von Belichtungsparametern und hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Belichtungsergebnisse. Die Maschine bietet auch hervorragende Platzierungsgenauigkeit und hohe Durchsatzleistung bei minimaler Restintensitätsschwankung. Das Werkzeug enthält eine fortschrittliche optische Komponente, die eine asphärische optische Linse, ein Maskenausrichtungsmodell und eine Beleuchtungsausrüstung mit zwei Quellen umfasst. Dies bietet eine hohe Auflösungsgenauigkeit bei reduzierten Aberrationen und gleichmäßiger Beleuchtung über der Waferoberfläche. Das System verfügt über eine Split-Field-Bildgebung mit Dual-Spot und gleichmäßiger Beleuchtung, die eine hochauflösende Bildgebung bei hohem Durchsatz ermöglicht. Zusätzlich enthält das Gerät drei programmierbare Belichtungsparameter, die es dem Benutzer ermöglichen, die Maschine auf die Zielanwendung und den Prozess abzustimmen. Das Tool wird von einem fortschrittlichen Controller angetrieben, der eine präzise Kontrolle und Überwachung des Assets ermöglicht. Der Regler bietet eine automatische Temperatur-/Feuchtigkeitskompensation, die es dem Bediener ermöglicht, eine stabile Umgebung für das Modell aufrechtzuerhalten. Darüber hinaus enthält der Controller benutzerprogrammierbare Parameter für die Genauigkeit der Platzierung von Belichtungsmerkmalen, den Überbelichtungsfaktor kp und die Gleichmäßigkeit der Dosis. Die Geräte sind in der Lage, mit mehreren Medien und Technologien zu arbeiten, und die Leistung wird basierend auf den Medien und Anforderungen der Anwendung optimiert. Das System verfügt über ein fortschrittliches Design, um die Zuverlässigkeit der Einheit zu verbessern, einschließlich Online-Diagnose und Wartung auf niedriger Ebene. Die Maschine ist auch in einer Reihe von Konfigurationen verfügbar, so dass der Benutzer das Werkzeug für bestimmte Anwendungsanforderungen anpassen kann. Um eine optimale Leistung zu gewährleisten, wird eine professionelle Installation und regelmäßige Wartung empfohlen. Zur Gewährleistung einer optimalen Leistung und Zuverlässigkeit muss die Anlage auch nach den Anweisungen des Herstellers betrieben werden. Darüber hinaus ist es wichtig, das Modell in einer temperatur- und feuchtigkeitskontrollierten Umgebung zu speichern. Bei richtiger Verwendung liefert FUSION 200 PCU zuverlässige und genaue Ergebnisse.