Gebraucht AXCELIS / FUSION 200 PCU #9231979 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION 200 PCU (Photonic Collimated Uniformity) ist ein fortschrittliches Belichtungsgerät, das hochpräzise Photolithographie-Funktionen bietet. Mit hochgradig anpassbaren und automatisierten Funktionen und benutzerfreundlicher Software ermöglicht FUSION 200 PCU eine schnelle, effiziente und genaue Ausrichtung, Belichtung und Verarbeitung einer Vielzahl von Halbleiter- und Fotomaskenmaterialien. Dieses System verwendet eine zweistufige Muster- und Ausrichteinheit mit gleichmäßiger Maske und aberrationsfreien Beleuchtungsfähigkeiten. Die erste Stufe ist der Projektionsausrichter, der die Kombination aus dem Image Alignment Tool (IAT) und dem Precise Alignment Tool (PAT) verwendet, um eine präzise Ausrichtung der Photomasken auf innerhalb von 5 Nanometern in x und y Dimensionen zu erreichen. Die zweite Stufe ist das Belichtungswerkzeug, das mit der Application Aligned Uniform Projection (AUP) das Fotomaskenmaterial gleichmäßig belichtet. AXCELIS 200PCU verwendet auch die patentierte AQUA-Technologie (Advanced Quasi-Phase-Shift Mask), um gleichmäßige Intensitätsstufen während prozesskritischer Lithographieschritte zu gewährleisten. Dies hilft, die volle Größe, hohe Ausbeute, prozessstabilisierende Photolackabdeckung auf jedem Photomaskenmaterial zu gewährleisten. AXCELIS 200 PCU verfügt über vier erweiterte Ausrichtungs- und Belichtungsmodi, die es Anwendern ermöglichen, sich an spezialisierte Photomaskenmaterialien und Lithographieverfahren anzupassen. Dazu gehören: E-RASTER-Modus, der automatisches E-Beam-Schreiben, Standard-Modus und Static-Modus ermöglicht. Darüber hinaus verfügt diese Maschine auch über einen „Fast Mode“, der für maximalen Durchsatz ausgelegt ist und schneller als branchenübliche Zykluszeiten für Photomasken von 0,5 bis 12,5um Größe ist. Für die Bildgebung und optische Steuerung verwendet 200 PCU ein optisches Paket, das eine aktive, digitale telezentrische Lichtquelle verwendet, die Anwendern mehr Flexibilität, Stabilität und Genauigkeit bietet. Dieses Tool ist auch mit einem hochauflösenden Mustererkennungsmittel ausgestattet, das in der Lage ist, die schwierigsten Maskierungsmuster zu lokalisieren. Darüber hinaus können FUSION- 200PCU sowohl in vertikalen als auch in horizontalen Konfigurationen verwendet werden. Schließlich bietet 200PCU drei fortschrittliche Nachbelichtungsverarbeitungsfunktionen, um genaue und zuverlässige Verarbeitungsergebnisse zu gewährleisten. Dazu gehören: Substratreinigung, Be-/Entladen und Kantenschneiden. Alle diese Funktionen sind vollautomatisiert und können gleichzeitig genutzt werden, so dass Photomasken schnell und mit geringem Eingriff des Bedieners bearbeitet werden können. AXCELIS/FUSION 200PCU ist ein fortschrittliches Belichtungsmodell, das eine hohe Präzision, Genauigkeit und Flexibilität für die Herstellung von Halbleitern und Photomasken bietet. Mit seinen leistungsstarken Funktionen können Anwender schnelle Zykluszeiten, eine hochpräzise Ausrichtung und Belichtung sowie eine präzise Nachbearbeitung für hochwertige Ergebnisse erzielen.