Gebraucht AXCELIS / FUSION 200 PCU #9235770 zu verkaufen

AXCELIS / FUSION 200 PCU
ID: 9235770
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
Photo stabilizer, 8" 2001 vintage.
AXCELIS/FUSION 200 PCU ist eine Belichtungsanlage, die speziell für die Herstellung von Halbleiterbauelementen und die Mikroelektronik entwickelt wurde. Es bietet eine präzise Steuerung für die Produktion mit mittlerem bis hohem Durchsatz und erfordert eine minimale Wartung. Das System eignet sich für die Herstellung und Prüfung einer Vielzahl von Geräten, einschließlich Optoelektronik, MEMS, Photonik und LEDs. FUSION 200 PCU beherbergt eine 200-Watt-Ultrahochleistungs-Laserquelle, eine 13-Positions-Waferstufe und drei unabhängige Fokussieroptiken (CO2, NIR und UV). Es bietet zwei Lademöglichkeiten (aktiver Roboter und manuelle Beladung) und verfügt über eine moderne thermische Einheit, die Temperaturschwankungen entgegenwirkt, um optimale Prozessbedingungen zu erhalten. AXCELIS 200PCU ist mit einer ultrapräzisen motorisierten Z-Achse ausgestattet, um höchste Präzision und individuelle Wiederholbarkeit zu erreichen. Die geschlossenen Bewegungssteuerungsfunktionen und die integrierte Instrumentierung tragen zu einer robusten und genauen Steuerung der Laserbelichtungsdosis bei. Die Maschine ermöglicht es Benutzern, ihre Belichtungsprozessparameter, einschließlich der Laserstrahlform und des Verschlusses, der Abtastgeschwindigkeit, der XY-Bewegung und mehr, einfach anzupassen. Es verfügt auch über integrierte Sicherheitsfunktionen zum Schutz vor möglichen Fehlern. 200PCU ist sehr vielseitig und bietet eine gleichmäßige und schnelle Belichtung mit Photoresists, anderen Materialien und Substraten verschiedener Größen. Es ist sowohl mit eigenen Softwarelösungen von Drittanbietern als auch mit FUSION kompatibel und kann für verschiedene Arten von Automatisierungseinstellungen entwickelt werden. AXCELIS 200 PCU ist ein fortschrittliches und effizientes Belichtungswerkzeug für industrielle Anwendungen. Die modernste Technologie und die sehr anpassbaren Optionen sorgen für überlegene Leistung und schnelle Produktionszeiten. Es ist eine ideale Wahl für hohe Volumen und komplexe photolithographische und bildgebende Anwendungen.
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