Gebraucht AXCELIS / FUSION 200 PCU #9235771 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION 200 PCU ist eine fortschrittliche Belichtungsanlage für die Verarbeitung einer Vielzahl von Materialien für eine Vielzahl von Branchen. Das System verfügt über eine große Kammer zur Verbesserung der Wärmeübertragung, eine einheitliche Waferdeckung und ermöglicht lange Laufzeiten bei minimaler Wartung. Das Gerät ist kompatibel mit einer Vielzahl von Substraten wie Silizium, Galliumnitrid, Diamant, Quarz und vieles mehr. Die Maschine umfasst einen EasyLoadTM Wafer Handler, einen kompakten Load Locker und eine 200 Watt Röntgenquelle. Der ultrahochpräzise Scanner sorgt für eine genaue Abbildung Ihrer Geräte und eine vollständige Prozesskontrolle, bis hin zu einer Auflösung von 5 nm. Eine einzigartige und revolutionäre Cold Target Röntgenquelle nutzt ein fortschrittliches, energiedispersives Array, das ein elektrisch abstimmbares Spektrum genau auf die Waferoberfläche projiziert. Das Werkzeug enthält auch eine Mikrowellenquelle, die schnelles und gleichmäßiges Backen über den gesamten Wafer für viele Prozesse, einschließlich CVD und Diffusion. Der integrierte Hydraulic Shuttered Robot Asset reduziert die Wafer-Handhabungszeit auf weniger als eine Minute. Der Roboter nimmt auch Luftreinigungsschritte aus der Kammer und schickt sie in einen separaten Reinraum, wodurch Partikel- und Feuchtigkeitsverunreinigungen reduziert werden. Das Modell bietet eine ganze Reihe von Prozessparametern für eine Vielzahl von Prozessen wie Lithographie, Hochtemperaturglühen, Nassätzen und Metallabscheidung. Die Prozesssteuerungssoftware überwacht, koordiniert und leitet alle Komponenten in der Ausrüstung und sorgt für konsistente Ergebnisse. Die Software bietet auch ausgezeichnete Flexibilität für benutzerdefinierte Prozesse und Software-Tools, um maßgeschneiderte Rezepte zu erleichtern. Das System ist auch mit einer Vielzahl von Sicherheitseinrichtungen ausgestattet, einschließlich Luftdrucküberwachungen, Vakuumüberwachungen, Gasdetektoren, Partikelsensoren, ESD-Detektoren und Lichtbogenerkennungsgeräten. Das Gerät wurde entwickelt, um die Exposition gegenüber Gefahrstoffen zu minimieren, das Risiko einer Strahlenbelastung zu minimieren und das Risiko eines elektrischen Schocks zu minimieren. Es ist auch für Strahlungsabschirmungsschutz in Bezug auf 810-2007 ausgelegt. Die Maschine ist sehr vielseitig einsetzbar und kann in einer Vielzahl von Branchen eingesetzt werden, darunter Mikroelektronik, Optoelektronik, Medizin, Automatisierung und Luft- und Raumfahrt. Das Qualitäts- und Sicherheitsdesign sorgt dafür, dass Sie aus Ihren Prozessen konsistente, zuverlässige Ergebnisse erzielen. Mit seiner breiten Palette von Funktionen und Anwendungen, FUSION 200 PCU ist eine ausgezeichnete Wahl für die modernsten Belichtungsanforderungen.