Gebraucht AXCELIS / FUSION 200 PCU #9238497 zu verkaufen

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ID: 9238497
Wafergröße: 8"
DUV Photo stabilizer, 8".
AXCELIS/FUSION 200 PCU ist ein fortschrittliches Belichtungsgerät, das für den Einsatz in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Das System bietet eine präzise Kontrolle kritischer Belichtungsparameter für hochwertige Produktionsergebnisse. Es ist für die schnelle Verarbeitung von Wafern, Schichten und Proben konzipiert und ermöglicht eine präzise Kontrolle kritischer Parameter wie Vergrößerung, Fokus, Dosis und Energie. Das Gerät verfügt über eine integrierte motorisierte Steuermaschine und ein motorisiertes Probenhaltewerkzeug, das eine präzise Kontrolle über die Ausrichtung und Handhabung von Proben bietet und schnelle Umdrehungen ermöglicht und dabei prozessbezogene Probleme minimiert. Durch seinen hohen Durchsatz, eine präzise Probenpositionierung und eine genaue Dosismessung und -kontrolle trägt die Anlage dazu bei, einen zuverlässigen, wiederholbaren Prozess sicherzustellen. FUSION 200 PCU verfügt über viele automatisierte Funktionen wie automatisierte Wafer- und Probenlade- und Ausrichtungsroutinen, Dosissteuerungsroutinen und automatisierte Datenerfassungs- und Analyseroutinen. Diese Funktionen ermöglichen es dem Benutzer, kritische Prozessvariablen besser zu steuern und das Modell für seine Anwendung anzupassen. Die Ausrüstung kann eine breite Palette von Wafer- und Probengrößen von 4-Zoll bis 1 Mikron handhaben. Es hat auch die Fähigkeit, Proben sowohl auf der oberen als auch auf der unteren Oberfläche zu verarbeiten. Das System bietet eine robuste Leistung, schnelle Bearbeitungszeiten und genaue Ergebnisse. Darüber hinaus ermöglicht die Software eine einfache Integration von Systemen zur automatisierten Bedienung und Ausrichtung von Wafern oder Proben. AXCELIS 200PCU ist für die Verwendung mit einer Vielzahl von Belichtungsquellen wie Elektronen, Röntgenstrahlen, sichtbarem Licht und Ionenstrahlen konzipiert. Die Einheit kann synchrone Belichtungen verarbeiten, sodass Benutzer mehrere Schichten gleichzeitig verarbeiten können. Die Maschine verfügt über ein mehrachsiges Probenpositionierwerkzeug, das Genauigkeit und Wiederholbarkeit bietet und es dem Benutzer ermöglicht, seine Proben während des Belichtungsprozesses genau zu positionieren. Die Anlage ist auch mit Sicherheitsfunktionen zum Schutz der Benutzer konzipiert. Es verfügt über einen Sicherheitsschalter mit geringer Leistung, der das Modell abschaltet, wenn ein Stromstoß erkannt wird, sowie über einen Not-Aus-Schalter, der das Gerät bei Bedarf schnell abschalten kann. Insgesamt ist AXCELIS/FUSION 200PCU ein fortschrittliches Belichtungssystem, das eine präzise Kontrolle über kritische Parameter bietet und dabei hilft, prozessbezogene Probleme zu minimieren. Der hohe Durchsatz und die genauen Datenerfassungs- und Analyseroutinen machen es zu einem großartigen Werkzeug für die Halbleiterindustrie.
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