Gebraucht AXCELIS / FUSION 200 #293639952 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION 200 ist ein fortschrittliches Belichtungsgerät, das die Herstellung von Halbleiterbauelementen der nächsten Generation optimiert. Dieses System umfasst die neuesten Technologien, um einen überlegenen Durchsatz, Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu bieten. FUSION 200 ist eine interaktive, benutzerfreundliche Einheit, die eine breite Palette von Funktionen bietet und somit eine ausgezeichnete Wahl für hochvolumige, hochpräzise Produktionsumgebungen darstellt. AXCELIS 200 verfügt über eine hochauflösende Waferstufe, einen ultrahochpräzisen Scanner und ein hochleistungspulstes Elektronenstrahlwerkzeug. Die Waferstufe, ein fortschrittliches Design, das speziell für die schnelle und genaue Ausrichtung von Substraten entwickelt wurde, ist in der Lage, Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 380mm (15 ") zu bewegen. Seine Hauptkomponenten sind ein Vakuumfutter, zwei obenliegende Tragarme und zwei motorisierte X-Y-Z piezoelektrische Stufen. Der Scanner ist ein mehrachsiges Reinigungs- und Messtechnikwerkzeug, das die präzise Ausrichtung von Substraten auf den Elektronenstrahl ermöglicht. Es zeigt eine Hochleistungsvektorenlaufwerkmaschine und einen einzigartigen Scangrößenoptimierungsalgorithmus. Das Elektronenstrahlwerkzeug ist in der Lage, Elektronenstrahlen bis zu 150 keV und niedrige kmV-Energien zu pulsen und ist mit einem Thermomanagementwerkzeug ausgestattet, um seine Lebensdauer zu optimieren. 200 bietet auch eine breite Palette von Prozesssteuerungs-, Überwachungs- und Optimierungsfunktionen. Die SCORPION Software ermöglicht die Steuerung des gesamten Herstellungsprozesses, von der anfänglichen Waferbeladung über die lithographische Bildgebung bis hin zur Prozessintegration. Die analytische Datenerfassung und -analyse wird über die Suite von Bordprozesssensoren ermöglicht. Eine anpassbare grafische Benutzeroberfläche und ein farbiger LCD-Touchscreen ermöglichen es dem Bediener, das Element einfach zu überwachen und zu steuern. Diese Werkzeuge sorgen für größtmögliche Wirtschaftlichkeit und Erträge. AXCELIS/FUSION 200 wurde entwickelt, um die maximale Betriebszeit zu gewährleisten, mit einer Basisdichtungsplattform, die die Auswirkungen von Ausfallzeiten aufgrund von Partikelverunreinigungen verringern soll. Außerdem zeigt es einen fortgeschrittenen, programmierbaren Reinigungszyklus, kühle Tellerplattform, laden Sie Häfen/ausladen Sie, und eine moderne Doppelbalkensicherheit überreitet Modell. Das Gerät ist zudem mit einer offenen Systemarchitektur ausgestattet, die eine nahtlose Integration mit anderen Systemen ermöglicht. Insgesamt ist FUSION 200 eine effiziente, zuverlässige und benutzerfreundliche Einheit, die den Durchsatz maximieren und gleichzeitig Genauigkeit und Wiederholbarkeit gewährleisten kann. Das innovative Design der Maschine wird mit den neuesten Technologien kombiniert, um Herstellern das ultimative Werkzeug für ihre fortschrittlichen Lithographie-Anforderungen zu bieten.