Gebraucht AXCELIS / FUSION DRS-10 / 12QN #293645766 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION DRS-10/ 12QN ist eine hochmoderne Belichtungsanlage, die entwickelt wurde, um eine breite Palette von photolithographischen Anwendungen zu ermöglichen. Dieses System basiert auf einer einzigartig integrierten Plattform von Lithographie und optischen Komponenten, die eine breite Palette von Prozesstechnologien ermöglicht. FUSION DRS-10/ 12QN vereint die neuesten Fortschritte in der Optik und Bewegungssteuerung und bietet überlegene Leistung und Flexibilität für eine einzigartige doppelseitige Waferbelichtung. Das Gerät verfügt über eine Gantry-montierte Scan-Maschine zur Aufnahme verschiedener Wafergrößen und Substrate. Eine actable Quarzmantelbaugruppe bietet eine einheitliche Scanprozessleistung sowie eine verbesserte Lebenszyklusleistung. Das stark wiederholbare, rauscharme Scan-Tool, gekoppelt mit einer quarzgeschützten Fotoeinstellstufe und einer selbstjustierenden Nachbelichtungsstufe, ermöglichen eine präzise Positionierung und Registrierung. Das 10nm prozessfähige Laserinterferometer gewährleistet die Genauigkeit dieser Registrierung durch Überwachung der Abtastkettenpositionierung vor und während der Belichtung. Die hochpräzisen Laserscanner- und Mustergeneratorsysteme ermöglichen eine Mustergenauigkeit mit präziser Temperaturregelung und ausgezeichneter Gleichmäßigkeit über den gesamten Wafer. Der hohe Durchsatz des Geräts wird durch eine Kombination aus schneller Servoantwort, präziser Steuerung und ausgeklügelten Software-Algorithmen erreicht. Das Modell verfügt über eine automatisierte optische Ausrichtungsausrüstung, die zwei Auto-Interferometer zur präzisen Ausrichtung verwendet, die über Wafergrößen hinweg stark wiederholbar ist. AXCELIS DRS-10/ 12QN verwendet ein überlegenes thermisches Isolationssystem, das eine präzise Temperaturregelung und Wiederholbarkeit der Parameter gewährleistet. Das Gerät verfügt auch über eine Reihe von optionalen Komponenten, von der Fernfutter-Überwachung bis hin zu fortschrittlichen Soft Watcher/Rezept-Entwicklungssystemen. Die leistungsstarke Software ermöglicht es seinen Anwendern, eine breite Palette komplexer optischer Konfigurationen zu entwerfen. Zusammenfassend bietet DRS-10/ 12QN eine hochmoderne doppelseitige Waferbelichtungsleistung. Die Reihe fortschrittlicher Funktionen und Komponenten bietet eine unübertroffene betriebliche Flexibilität und einen hohen Durchsatz. Die integrierten Softwarepakete und prozessfähigen Tools machen es zu einer guten Wahl für jede Photolithographie-Anwendung.