Gebraucht AXCELIS / FUSION Gemini 200PCU/P #9103139 zu verkaufen

FUSION Gemini 200PCU/P ist ein hochpräzises Belichtungssystem, das hervorragende bildgebende Funktionen und eine extrem genaue Overlay-Leistung bietet. Das Gerät ist optimiert, um die komplexesten, kleinteiligsten Geräte zu handhaben, wobei seine unterscheidendste Funktion die Fähigkeit ist, Überlagerungsausrichtungsmarken so klein wie 0,02 Mikrometer genau abzubilden und auszurichten. Die Maschine ist mit einem automatischen Nivelliertisch mit Doppelpreisausgleich ausgestattet, der kleine Höhenunterschiede konsistenter machen kann. Diese fortschrittliche Technologie sorgt für eine effektive Bildgebung, um eine möglichst hohe Overlay-Genauigkeit zu erreichen. Die vertikalen und horizontalen Abtaststufen sind für optimale Genauigkeit und schnelle Verarbeitungsgeschwindigkeit ausgelegt. Die vertikale Stufe hat eine Auflösung von 50nm mit einer maximalen Beschleunigung von 1G und einer maximalen Geschwindigkeit von 400mm/s. Die horizontale Stufe hat eine Auflösung von 0,003 Mikrometer, eine maximale Beschleunigung von 5Gs und eine Höchstgeschwindigkeit von 250 mm/sec. Beide Stufen verfügen über digitale Drehmomentmotoren und sind darauf ausgelegt, während des gesamten Belichtungsprozesses eine hochgenaue Ausrichtung aufrechtzuerhalten. Für die Bildgebung verwendet das Werkzeug einen hochmodernen sichtbaren Aligner mit einem 500W grünen Laser. Dies gewährleistet eine saubere Bildgebung mit einer breiteren Palette von Belichtungseinstellungen für Feinabstandsgeräte. Der Prozessor verfügt über eine erweiterte Bildverarbeitungssteuerung und ein automatisches Belichtungselement, das eine genaue Kontrolle der Belichtungsparameter ermöglicht. Das Modell verfügt auch über eine integrierte Wärmemanagementfunktion, die thermische Belastungen reduziert, die die Leistung des Geräts beeinflussen könnten. Durch die Aufrechterhaltung einer stabilen thermischen Umgebung trägt das System dazu bei, das Auftreten thermischer Fehler zu reduzieren. Die Gemini 200PCU/P Einheit ist für einen umweltbewussten Betrieb ausgelegt. Es hat ein geräuscharmes Design und verfügt über eine Kohlenstofffiltermaschine, um die Umweltauswirkungen seiner Emissionen zu reduzieren. Insgesamt ist das Gemini 200PCU/P-Tool von AXCELIS ein hervorragendes Werkzeug, um extrem genaue Überschneidungen von Ausrichtmarken an feinteiligen Geräten zu erzielen. Mit seinen fortschrittlichen Bildgebungsfunktionen, der überlegenen Wärmemanagementkapazität und der unglaublichen Genauigkeit ist das Modell sicher ein wertvoller Vorteil für jede kundenspezifische Chipproduktionsanlage.