Gebraucht AXCELIS / FUSION I250B #9411422 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION I250B ist ein Belichtungsgerät für die photolithographische Verarbeitung von Speichergeräten und ICs. Es bietet zuverlässige, wiederholbare und wiederholbare Belichtung mit hoher Auflösung und Durchsatz. Es hat einen modularen Aufbau, der es ermöglicht, sich leicht an unterschiedliche Prozessanforderungen anzupassen. FUSION I250B verwendet eine Vielzahl fortschrittlicher Technologien, um seine beeindruckenden Ergebnisse zu erzielen. Das System verwendet in seinem Belichtungsverfahren zwei verschiedene Wellenlängen von Licht und bietet somit überlegene Abbildungs- und Auflösungsfähigkeiten. Die Lichtquelle ist ein leistungsstarkes Laserdioden-Array (LDA), das bis zu 900 mW Laserleistung erzeugt und Wellenlängen vom UV bis zum sichtbaren Bereich aufweist. Zum Umschalten der Laserleistung zwischen den beiden Lichtquellen wird ein dichroitischer Spiegel verwendet. Diese Einheit verwendet auch einen globalen Verschluss, der die Unschärfe während der Exposition minimiert. Die Maschine verfügt über verschiedene Merkmale zur präzisen Steuerung des Belichtungsprozesses. Es bietet eine einstellbare Laserleistung bis 500 mW und einstellbare Liniengeschwindigkeiten von 0,5 bis 1,5 Zeilen/sec. Die Belichtungszeit ist von 1ms bis 1000 ms einstellbar, um die Wiederholbarkeit des Prozesses zu verfeinern. Seine globale Verschluss verhindert Bewegungsunschärfen und bietet eine reibungslose Abdeckung und hohe Erträge in gemusterten Geräten. AXCELIS I250B verfügt über verschiedene Merkmale für die Waferbeleuchtung, wie dynamische Fokussierung und eine einstellbare Ebene-Bild-Intensität. Dieses Werkzeug verwendet auch ein motorisiertes Wafertransportmittel mit zweiachsiger Bewegung. Dies führt zu einem höheren Durchsatz sowie zuverlässiger Waferausrichtung und Wiederholbarkeit. I250B wurde entwickelt, um mit einer Reihe von Chemikalien und Materialien, wie Trocken- und Nassresist, Photoresist, Ätz-, Resiststreifen, stromlose Beschichtung und Antireflexionsmaterialien verwendet werden. Es bietet ausgezeichnete Gleichmäßigkeit, Auflösung und Abdeckung, sowohl über und um den Wafer. Insgesamt ist AXCELIS/FUSION I250B ein fortschrittliches Belichtungsmodell, das auf Präzision und Zuverlässigkeit ausgelegt ist. Sein modularer Aufbau und seine Eigenschaften bieten ausgezeichneten Durchsatz, Auflösung und zuverlässige Wiederholbarkeit. Mit seiner beeindruckenden Leistung ist dieses Gerät perfekt für Speichergeräte und die photolithographische Verarbeitung von ICs geeignet.