Gebraucht AXCELIS / FUSION I250B #9411424 zu verkaufen

ID: 9411424
Weinlese: 1996
UV Curing system 1996 vintage.
AXCELIS/FUSION I250B ist eine Hochleistungs-Belichtungsanlage für Forschung und Fertigung in der Halbleiterindustrie. Es ist mit einer intuitiven, benutzerfreundlichen Oberfläche und fortschrittlicher Bildverarbeitungstechnologie ausgestattet, um hohen Durchsatz und Einheitlichkeit für eine Vielzahl von Anwendungen zu gewährleisten. FUSION I250B besteht aus einer Belichtungsquelle, einer Projektionsoptik und einem Stepper/Scanner-System. Die Belichtungsquelle gibt ein durch ein programmiertes Muster erzeugtes Lichtmuster ab, was zu einem Pixelfeld mit allen notwendigen Merkmalen führt. Die Projektionsoptik projiziert dieses Muster dann mit hoher Präzision und Genauigkeit auf die Substratoberfläche. Die Schritt-/Scanner-Einheit sorgt für die Genauigkeitsabtastung, die erforderlich ist, um die Substratoberfläche mit dem projizierten Muster zu mustern. Diese Maschine sorgt dafür, dass das Muster genau und präzise im Substrat ausgebildet ist. AXCELIS I250B hat eine Zykluszeit von 6 bis 10 Sekunden und einen maximalen Durchsatz von über 2000 Wafern pro Stunde. Seine Auflösung ist besser als 1 µm, und seine Wiederholbarkeit liegt innerhalb von 0,1 µm, so dass es für lithographische Anwendungen geeignet ist. I250B hat auch ein robustes und langlebiges Design, und seine Komponenten werden für über eine Million Risikopositionen bewertet. Das Tool verfügt außerdem über eine automatisierte Aktivierungs- und Ausrichtungsfunktion für Substrate, mit der Probleme während der Produktion vermieden werden können. Darüber hinaus verfügt es über eine vertiefte Kalibrierfunktion, die bei der Steuerung von Prozessparametern und der Erzielung einer präzisen Musterplatzierung hilft. Darüber hinaus verfügt es über eine intuitive Benutzeroberfläche und erweiterte Bildverarbeitungsfunktionen, die die Komplexität des Belichtungsprozesses reduzieren sollen. Kurz gesagt, AXCELIS/FUSION I250B ist ein fortschrittliches Exposure Asset, das eine gleichmäßige, genaue und präzise Platzierung von Mustern auf der Substratoberfläche ermöglicht. Seine einzigartigen Eigenschaften, wie seine benutzerfreundliche Schnittstelle, automatisierte Substrataktivierung und tiefgreifende Kalibrierungsfunktionen, machen es zu einem der zuverlässigsten und effizientesten Belichtungssysteme auf dem Markt.
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