Gebraucht AXCELIS / FUSION I250B #9411427 zu verkaufen

ID: 9411427
Weinlese: 1996
UV Curing system 1996 vintage.
AXCELIS/FUSION I250B ist ein Belichtungsgerät zur Herstellung von lithographischen gedruckten Schaltungen und Mikromerkmalen zur Herstellung von integrierten Schaltungen und anderen elektronischen Komponenten. Das System nutzt fortschrittliche Software- und Hardwaretechnologie, um eine kostengünstige, hochproduktive Plattform für die Herstellung von Halbleiterbauelementen bereitzustellen. Der Kern der Einheit ist das 300mm FUSION-Werkzeug. AXCELIS Belichtungsmaschine verwendet eine einzigartige Kombination von Kalina- und NEXUS-Technologien, um hochauflösende Bilder in einer Vielzahl komplexer Musterformen und -größen zu erzeugen. Dazu gehören ultrafeine Linienbreiten sowie lineare Muster, Freiformmuster und dreidimensionale Strukturen. Das Werkzeug kann Scanbelichtung mit einer Mindestschrittgröße von 125nm und Overlay mit Submikron-Präzision positioniert durchführen. Das Asset beinhaltet auch eine Reihe fortschrittlicher maskenloser Lithographiesysteme, die Hochtreue-Muster erzeugen können, ohne dass herkömmliche Photomasken erforderlich sind. Dazu gehören C3D, eine koordinatenbasierte Nahfeld-Bildgebungstechnik und Hybrid-Immersion, die eine hochauflösende Bildgebung ohne optische Linse ermöglicht. Darüber hinaus wurde das Modell für eine breite Palette von Resistmaterialien und Chemikalien entwickelt. Dazu gehören i-line und g-line Photoresists, zusammen mit Kontaktresists und Ätzresists. Die benutzerfreundliche Steuerung ermöglicht es Anwendern, die Dosierung und Belichtungszeiten über eine Vielzahl von Energie- und Intensitätseinstellungen zu steuern. Das System vereinfacht auch den Entwicklungsprozess für neue Prozessanwendungen. Dazu gehören Funktionen wie die Einheit „Hybrid Job“, die die sequenzierte Programmierung mehrstufiger Prozesse ermöglicht, und „Job Capture“ für den schnellen Prozessaufbau. Die Maschine verfügt auch über automatische Mustermess- und Analysefunktionen. Das Werkzeug ist in der Lage, autonom und in Verbindung mit anderen Produktionsanlagen zu arbeiten. Es bietet einen flexiblen Rahmen für die Integration in andere bestehende Fabrikumgebungen und wird nach höchsten Qualitätsstandards hergestellt. Dies sorgt für langfristige Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit der Produkte und macht FUSION I250B ein zuverlässiges und kostengünstiges Werkzeug für die Produktion von strukturierten Schaltungen in hohen Stückzahlen.
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