Gebraucht AXCELIS / FUSION K250 #9411433 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION K250 ist ein Expositionsgerät, das speziell für die Verarbeitung von IC-Wafern entwickelt wurde. Das System verwendet eine proprietäre Schrittmotoreinheit und eine Optik, um eine hochauflösende Belichtung von bis zu 0,45 µm zu liefern. Darüber hinaus ist der Schrittmotor in der Lage, eine hohe Genauigkeit auszurichten und eine Positionsgenauigkeit von 1,5 µm zu erreichen. Die Maschine hat einen modularen Aufbau, so dass es einfach ist, für verschiedene Anwendungen zu aktualisieren und anzupassen. Als solches ist es ein zuverlässiges Werkzeug für die fortschrittliche Verarbeitung von IC-Wafern. FUSION K250 verfügt über eine Waferdrehstufe mit einer 4 "(100mm) Luftlagerplatte, die einen Scanbereich von 5.5mm x 5.5mm bis 9.5mm x 9.5mm bietet. Die Wafer-Bühne verfügt außerdem über einen patentierten vertikalen Ausrichtmechanismus, der Genauigkeit und Langlebigkeit gewährleistet. Es verfügt auch über ein einzigartiges „Luftzäunwerkzeug“, das die Steuerung des Schrittmotors und der Optik unterstützt und Stabilität für den Belichtungsprozess bietet. Die Expositionsanlage ist mit Hochleistungs-FUSION-Optik ausgestattet, die eine Feldgröße von 44 μ m x 33 μ m, eine Expositionszeit von 0,2 sec, eine Expositionsdosierung von bis zu 10W/cm2, einen überlegenen Partikelreduktionsfilter und andere Merkmale aufweist. Die optische Konfiguration fördert zudem einen erhöhten Durchsatz und ist somit ein ideales Werkzeug für Produktionsvorgänge. AXCELIS K250 ist so benutzerfreundlich wie möglich gestaltet. Es ermöglicht das Chargen- und Single-Port-Rezept-Laden mit einem intuitiven Menümodell, das eine einfache Bedienung ermöglicht. Darüber hinaus wird eine Bibliothek mit über 100 Belichtungsrezepten bereitgestellt, so dass Einstellungen einfach gespeichert und abgerufen werden können. Das Gerät verfügt über zwei Basisprozessgase, Sauerstoff und Stickstoff, die in den benutzerdefinierten Rezepturen verwendet werden, um eine Photomasken-Kontamination zu verhindern. Darüber hinaus ist das System mit einer fortschrittlichen Feuchtigkeitsentfernungseinheit ausgestattet, die die Trockenheit der freiliegenden Waferoberfläche gewährleistet. Neben branchenführender Technologie bietet K250 exzellenten technischen Support. Fachingenieure sind auf Abruf 24/7 und per Telefon, E-Mail oder über die Firmenwebsite erreichbar. Insgesamt ist AXCELIS/FUSION K250 Belichtungsmaschine ein hochmodernes Werkzeug für die IC-Waferbearbeitung. Es verfügt über schnelle Belichtungszeiten, hochauflösende Bildgebung, überlegene Hardware und Optik und ausgezeichnete Unterstützung. Als solches ist es die perfekte Wahl für die IC-Produktion.