Gebraucht AXCELIS / FUSION LC-6 #93376 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION LC-6 ist eine hochpräzise, hochproduktive Belichtungsanlage, die für die komplexesten lithographischen Anforderungen der heutigen Chipherstellungsindustrie entwickelt wurde. FUSION LC-6 kann für Deep UV-Photolithographie, E-Beam-Lithographie und Direct-Write-Prozesse verwendet werden und bietet Anwendern unübertroffene Genauigkeit und Flexibilität. Mit einem maßgeschneiderten Bildverarbeitungsmodul bietet AXCELIS LC-6 präzise Leistung in einer Reihe von Prozess- und Belichtungseinstellungen. Das System ist in der Lage, 1-nukleare Photomasken-Defekte bei 22 nm und kann mehrere Belichtungsköpfe synchronisieren, um hochpräzise Isomer-Arrays zu erreichen. LC-6 ist mit einer Reihe fortschrittlicher Technologien ausgestattet, um präzise, wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Dazu gehören ein Uniformitätsmodul mit einer proprietären Architektur zur Gewährleistung der Gleichmäßigkeit im gesamten Sichtfeld und ein proprietärer Wavefront Deviation-Algorithmus zur Anpassung an Verzerrungen. Das Gerät ist auch mit dem FACSEL Array-Tool zur präzisen, zerstörungsfreien Analyse von Rückseitenbildern ausgestattet. AXCELIS/FUSION LC-6 ist auf Prozesstoleranz und Reproduzierbarkeit ausgelegt. Eine Reihe von Prozesseinstellungen können für bestimmte Anwendungen angepasst werden, wobei eine Fehlerüberwachung und eine Nachbelichtungsprozessanalyse zur weiteren Feinabstimmung der Einstellungen zur Verfügung stehen. Parameter können auch für Umgebungsänderungen angepasst werden, mit Optionen für Echtzeit-Temperatur- und Feuchtigkeitsüberwachung während des gesamten Belichtungsprozesses. Das robuste optische Design von FUSION LC-6 gewährleistet langfristige Leistung mit einem DOE-freien Design, um Vibrationen zu minimieren, die Linearität zu verbessern und Bildartefakte zu eliminieren. Die Maschine wurde auch entwickelt, um die Wartung zu minimieren, mit automatischer Reinigung der Optik, einem wartungsfreien Laufwerk und vollständiger Remote-Software-Unterstützung für den täglichen Betrieb. Insgesamt ist AXCELIS LC-6 ein fortschrittliches, hochpräzises Belichtungswerkzeug, das den anspruchsvollsten Anforderungen der Chipherstellung gerecht wird. Das robuste, funktionsreiche Design des Asset ermöglicht es, hochgenaue und wiederholbare Ergebnisse zu liefern, während seine Palette an fortschrittlichen Technologien dazu beiträgt, Prozessflexibilität und Reproduzierbarkeit zu maximieren.