Gebraucht AXCELIS / FUSION LC-6B #9245539 zu verkaufen

AXCELIS / FUSION LC-6B
ID: 9245539
Belt irradiator With speed indicator.
AXCELIS/FUSION LC-6B ist ein fortschrittliches Belichtungsgerät für Lithographieverfahren, insbesondere ein Laser-Scan-Projektionsbelichtungssystem. Es verwendet einen Laser, eine Lichtquelle und ein digital gesteuertes Scanverfahren, um Feinmuster und Bilder auf Substrate zu übertragen. Diese Einheit wurde entwickelt, um Entwicklungsprozesse zu optimieren, die Produktionserträge zu steigern und die Überlagerungsgenauigkeit zu verbessern. Es ist auch unglaublich vielseitig, in der Halbleiter-, MEM- und IC-Herstellung sowie für viele andere verwandte Prozesse einsetzbar. FUSION LC6B Maschine wird durch eine hochfrequente, hochauflösende Laserdiode angetrieben, die ein gleichmäßiges, scharfes Bildmuster erzeugt. Dieser Laser kann bis zu 4 Watt Leistung erzeugen und kann Laserpulse mit einer Geschwindigkeit von bis zu 160 kHz erzeugen, was dem Werkzeug einen sehr großen Arbeitsbereich und einen hohen optischen Durchsatz gibt. Dadurch eignet es sich hervorragend für Anwendungen wie kleinere Linienbreiten, Gate- und Verbindungsmuster und Doppeldruck. Die Laserquellenmodelle von AXCELIS LC 6B wurden entwickelt, um leicht einstellbar und anpassbar zu sein, mit einem Wellenlängenbereich von 365 nm bis 532 nm und variablen Pulsdauern von 10 ns-1000ns. Dazu gehören auch Präzisionsoptik, AE-Steuerung und momentaner Verschluss zur Optimierung des Belichtungsprozesses. Dadurch können spezifische Muster und Bildgrößen präzise auf Fotolackmaterialien mit schnellen Umdrehungszeiten aufgebracht werden. AXCELIS/FUSION LC6B ist zudem mit hochauflösender Projektionsoptik und einem Bildstabilisierungsmodell mit einer Bildstabilisierungsfähigkeit bis 0,1 μ m ausgestattet. Darüber hinaus ist diese Ausrüstung in der Lage, ausgezeichnete Maskierungsmuster und überlagerte Aufträge zu produzieren und bietet eine Vielzahl von Muster- und Bildgebungsoptionen, mit einer erweiterten, Echtzeit-Benutzeroberfläche und einer Vielzahl von Job-Einreichungen umfassen JPG, BMP, TIF und TGA-Bildformate. Das Laserprojektionssystem von AXCELIS/FUSION LC 6B wurde entwickelt, um die Anzahl der Schritte zu reduzieren, die für erfolgreiche Lithographieprozesse erforderlich sind, und gleichzeitig die allgemeine Prozessgenauigkeit und -kontrolle zu verbessern. Dieses Gerät ist auch mit einer Mehrfachdüsenmaschine ausgestattet, um schnelles Substratspritzen zu erleichtern, sowie integrierte Hardware und Software, um einen sichereren und kontrollierteren Belichtungsprozess zu ermöglichen. Insgesamt ist AXCELIS LC-6B ein leistungsstarkes, vielseitiges Belichtungswerkzeug, das von unschätzbarem Wert ist, um hohe Genauigkeit und Effizienz in Lithographieprozessen zu erreichen. Es ist voll mit erweiterten Funktionen und bietet eine Vielzahl von Optionen für die Anpassung des Belichtungsprozesses. Mit seiner schnellen Wendezeit und der hervorragenden Muster- und Bildqualität ist LC6B ein ideales Werkzeug für diejenigen, die ihre Lithographie-Prozesse rationalisieren möchten.
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