Gebraucht AXCELIS / FUSION M 150 #9095706 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION M 150 ist ein Messgerät mit kritischer Dimension (CD), das entworfen und entwickelt wurde, um die Reproduzierbarkeit von lithographischen Belichtungen für die Prüfung und Verarbeitung von Halbleiterscheiben sicherzustellen. Dieses System verwendet fortschrittliche laserbasierte Beleuchtungsoptiken, um einheitliche und stabile Belichtungsprofile zu erzeugen. Es verfügt über niedrige Einstiegsdosen, Präzisions-CD-Messungen und einen hochautomatisierten Betrieb. FUSION M 150 wird von einer intuitiven grafischen Benutzeroberfläche (GUI) und grafischen objektorientierten Tools angetrieben, die flexible Belichtungsrezepte ermöglichen. Ein effizienter Algorithmus ermöglicht eine genaue CD-Steuerung der strukturierten Wafertopographie mit nachvollziehbaren Qualitätskontrollergebnissen. Dadurch bietet es einen verbesserten und schnelleren durchschnittlichen Time-per-Wafer-Durchsatz. AXCELIS M150 bietet zudem verbesserte Gleichmäßigkeit und Stabilität für geringere Musterdefekte und höhere Ausbeute. Diese Einheit verwendet ein modernes adaptives DoE (Design of Experiments) basierend auf volumetrischer Modellrekonstruktion, um optimale Belichtungsbedingungen zu erreichen. Es ist mit einem Dual-Source-I-Line-Projektionsbeleuchter und einer RGB-Dreieck-Messtechnik-Maschine zur präzisen Messung von CD auf der Waferoberfläche ausgestattet. Der leistungsstarke I-Line-Beleuchter bietet einen höheren Durchsatz und höhere Auflösungen von bis zu 1,1 um. Als Ersatz für die herkömmliche Retikelstufe wird die Positioniergenauigkeit durch die Einführung der Hochgeschwindigkeits-Einachs-Piezostufe verbessert. Die Piezo-Bühne ist auch in der Lage, genau zu scannen, so dass kostengünstige Überlagerungen. AXCELIS/FUSION M150 hat direkten Zugriff auf eine robuste Werkzeugdatenbank, um eine schnelle und wiederholbare Prozessempfehlung zu ermöglichen. Es bietet auch verbesserte Benutzererfahrung mit Auto Tool Kalibrierung. Diese Funktion sorgt für genaue Prozessergebnisse und erhöht letztlich den Waferdurchsatz. Es verfügt auch über erweiterte Prozessentwicklung durch eine breite Palette von Messtechnik und Analyse-Tools, einschließlich eines leistungsstarken optischen Mikroskops, Overlay-Analyse-Tool, und bildgebende Software in der Lage, Winkel zwischen 0 und 360 Grad abzubilden. Darüber hinaus ist FUSION M150 mit einer Vielzahl von Qualitätskontrollfunktionen ausgestattet, um ein gleichbleibendes Produktionsqualitätsniveau zu gewährleisten. Es verfügt über eine erweiterte werkzeugsynchronisierte OPC-Messtechnik für eine verbesserte Genauigkeitskontrolle, eine verbesserte Auflösung von CD-Messungen mit dynamischer und statischer Flachfeldkorrektur für den übersichtlichen Rand-zu-Rand-Druck, eine Vielzahl von Fokus-Rezepten für kostengünstige Lösungen und eine hochauflösende Scaningfähigkeit. M150 bietet eine große Flexibilität und bietet eine Vielzahl von Konfigurationen für optimale Performance und messtechnische Ergebnisse. Es ist eine zuverlässige und kostengünstige Ressource für die Halbleiter-Wafer-Verarbeitung, die einen optimierten Betrieb und maximalen Waferdurchsatz bietet.